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王海宁
作品数:
8
被引量:19
H指数:1
供职机构:
清华大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
蔡坚
清华大学信息科学技术学院微电子...
刘理天
清华大学信息科学技术学院微电子...
杨轶
清华大学信息科学技术学院微电子...
任天令
清华大学信息科学技术学院微电子...
贾松良
清华大学
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清华大学
作者
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王海宁
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蔡坚
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任天令
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杨轶
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刘理天
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朱一平
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8
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基于硅微加工技术的超声定位微声学系统
本发明公开了属于定位与测距技术领域的一种基于硅微加工技术的超声定位与测距微声学系统。是用微声学器件铁电微扬声器作为超声波发射源,微声学器件铁电微麦克风作为超声波接收器;微扬声器和微麦克风的发射面和接收面都指向被测物体;超...
任天令
朱一平
杨轶
刘理天
蔡坚
王水弟
王海宁
贾松良
文献传递
素质模型在企业中的应用--动力能源公司任职资格体系开发为例
王海宁
关键词:
人力资源
任职资格
核心竞争力
膨胀石墨的孔结构表征和吸附行为研究
王海宁
关键词:
膨胀石墨
孔结构
压电MEMS微麦克风封装技术研究
王海宁
关键词:
封装
声学性能
整合绩效管理(IPM)在个人理财服务中的应用
王海宁
关键词:
个人理财
整合绩效管理
平衡计分卡
业绩评价指标体系
先进的MEMS封装技术
被引量:19
2003年
从特殊的信号界面、立体结构、外壳、钝化和可靠性五个方面总结了MEMS封装的特殊性。介绍了几种当前先进的MEMS封装技术:倒装焊MEMS、多芯片 (MCP)和模块式封装(MOMEMS)。最后强调,必须加强MEMS封装的研究。
王海宁
王水弟
蔡坚
贾松良
关键词:
MEMS
封装技术
倒装焊
多芯片
微机电系统
集成电路制造工艺
基于PZT压电薄膜的微麦克风
采用Sol-Gel方法制备了高品质的硅基PZT薄膜,利用微机械加工技术,实现了基于PZT压电薄膜的微麦克风.对芯片级和封装后的压电微麦克风进行了测试,测试表明本文制备的微麦克风具有可靠性高,频带宽的特点.
杨轶
张林涛
张宁欣
伍晓明
王海宁
蔡坚
任天令
刘理天
关键词:
PZT
MEMS
文献传递
微硅压电扬声器
本文介绍一种利用微机械技术(MEMS)制备的压电式扬声器的制备工艺、测试技术和测试结果.扬声器的振膜是由压电材料锆钛酸铅(PZT)、二氧化硅和Ti/Pt电极组成的复合膜.通过测试各层材料的残余应力,综合考虑器件振膜的应力...
伍晓明
杨轶
朱一平
张宁欣
蔡坚
王海宁
任天令
刘理天
关键词:
扬声器
压电薄膜
PZT
MEMS
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