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雷震霖

作品数：38 被引量：79H指数：3
供职机构：中国科学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金辽宁省自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术冶金工程农业科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 18篇专利
  • 12篇期刊文章
  • 8篇会议论文

领域

  • 10篇电子电信
  • 4篇一般工业技术
  • 2篇冶金工程
  • 1篇核科学技术
  • 1篇农业科学
  • 1篇理学

主题

  • 9篇真空泵
  • 5篇轴承
  • 5篇轴承腔
  • 5篇转子
  • 5篇罗茨
  • 5篇半导体
  • 4篇真空设备
  • 4篇UHV/CV...
  • 4篇传动
  • 3篇电器
  • 3篇真空
  • 3篇致词
  • 3篇全自动
  • 3篇转子轴
  • 3篇装载
  • 3篇卸载
  • 3篇罗茨真空泵
  • 3篇回水
  • 3篇继电器
  • 3篇工位

机构

  • 34篇中国科学院
  • 5篇东北大学
  • 1篇东北师范大学
  • 1篇天津大学
  • 1篇沈阳大学
  • 1篇兰州空间技术...

作者

  • 38篇雷震霖
  • 9篇王光玉
  • 8篇余金中
  • 8篇于卓
  • 8篇王启明
  • 7篇李代宗
  • 7篇刘在行
  • 7篇成步文
  • 5篇李松
  • 5篇王刚
  • 5篇张健
  • 5篇李士军
  • 5篇赵崇凌
  • 5篇徐宝利
  • 5篇王学敏
  • 5篇陆涛
  • 5篇洪克超
  • 5篇郭玉飞
  • 5篇刘兴
  • 5篇许新

传媒

  • 3篇Journa...
  • 3篇真空
  • 2篇真空科学与技...
  • 1篇半导体情报
  • 1篇发光学报
  • 1篇材料研究学报
  • 1篇光谱学与光谱...
  • 1篇第五届全国分...
  • 1篇广东省真空学...
  • 1篇中国仪器仪表...
  • 1篇第六届全国固...

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 4篇2015
  • 8篇2013
  • 7篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2004
  • 1篇2001
  • 3篇2000
  • 4篇1999
  • 4篇1998
  • 1篇1997
  • 1篇1994
  • 1篇1991
共 38 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种罗茨真空泵
本发明涉及真空泵技术领域，具体的说是一种罗茨真空泵。包括电机、前后轴承腔体、罗茨腔体及齿轮腔体，其中前后轴承腔体位于罗茨腔体的两侧，所述齿轮腔体与后轴承腔体连接；所述罗茨腔体上设有进排气孔、并且其内设有主动转子轴和从动转...
雷震霖王光玉刘在行
文献传递
泛半导体装备与零部件
随着新基建、人工智能等新一代信息技术的发展,面对新形势下的大国博弈,以集成电路为代表的泛半导体产业备受关注。支撑泛半导体产业发展的核心装备更是关注的重点,其中多数核心装备功能的实现与真空技术密不可分,真空技术的优劣是装备...
雷震霖
关键词：真空零部件
文献传递
提高晶体硅太阳能电池转换效率的多层膜结构
本实用新型涉及一种多层膜结构，特别涉及一种可以提高晶体硅太阳能电池转换效率的多层膜结构。所述多层膜为至少两层的硅系膜层该多层膜结构可以用作太阳能电池片上的钝化层/减反射层。可以通过在沉积工艺期间通过向常规前驱气体混合物在...
雷震霖赵崇凌李士军张健张冬洪克超徐宝利钟福强陆涛许新王刚刘兴郭玉飞王学敏李松
文献传递
一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵
本实用新型涉及真空泵技术领域，具体的说是一种罗茨和爪式转子组合的多级干式真空泵。该泵由变频电机、主从动轴、一级罗茨主从动转子、四级爪式主从动转子、五个泵腔、排气腔、轴承腔、油箱、齿轮箱、主从动齿轮构成，其中电机有水冷，泵...
雷震霖王光玉刘在行
文献传递
用于超高真空的磁力耦合传动元件工作特性的研究被引量：6
1998年
本文介绍了用于超高真空设备中的磁力耦合传动元件的工作原理与结构，以及与普通磁力传动的差别。利用集总参数法建立了磁路参数计算的数学模型和公式，并得出传动力和力矩的计算公式。针对一种实用元件画出其工作特性曲线。这些内容是指导磁力传动元件优化设计和合理选用的理论其础。
雷震霖谢琪张世伟况战杨乃恒
关键词：超高真空工作特性
一种全自动下传输系统
本发明属于PECVD的传输系统领域，具体地说是一种全自动下传输系统。包括装载台、升降传输、下传输系统、卸载台，所述下传输系统包括4个传输工位、固态继电器及PLC，其中每个传输工位均由电机、传感器以及传输型材组成，所述电机...
雷震霖赵崇凌李士军张健张冬洪克超徐宝利钟福强陆涛许新王刚刘兴郭玉飞王学敏李松
文献传递
一种全自动下传输系统
本发明属于PECVD的传输系统领域，具体地说是一种全自动下传输系统。包括装载台、升降传输、下传输系统、卸载台，所述下传输系统包括4个传输工位、固态继电器及PLC，其中每个传输工位均由电机、传感器以及传输型材组成，所述电机...
雷震霖赵崇凌李士军张健张冬洪克超徐宝利钟福强陆涛许新王刚刘兴郭玉飞王学敏李松
文献传递
涡旋真空泵排气口结构
本实用新型属于真空泵领域，具体地说是一种涡旋真空泵排气口结构，包括排气适配器、阀挡、弹簧及橡胶阀芯，其中排气适配器与真空泵密封螺纹连接，阀挡及橡胶阀芯分别安装在排气适配器内的上下两端，橡胶阀芯的一端位于排气适配器上排气口...
雷震霖王光玉刘在行
文献传递
磁力驱动螺杆真空泵
本实用新型涉及真空领域的真空泵，具体地说是一种磁力驱动螺杆真空泵，包括腔体、主动转子、从动转子、传动齿轮组、内磁转子、外磁转子、隔离套及电机，其中主动转子及从动转子均容置在腔体内，主动转子轴及从动转子轴通过传动齿轮组连接...
雷震霖王光玉刘志东
文献传递
ＣＬＱ型离子枪热阴极的改进设计及有关计算
雷震霖
关键词：离子枪热阴极
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共4页<1234>
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