王立朋
- 作品数：42 被引量：129H指数：8
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金中科院创新基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 空间光学调制器中轴承的润滑及密封研究被引量：6
- 2007年
- 对空间紫外光谱仪中转动部件,即光学调制器系统支撑轴承的润滑及密封进行设计和研究。在真空环境下(10-3Pa),采用固体润滑和油润滑2种润滑方式进行轴承寿命试验。结果表明,当轴承采用MoS2固体膜润滑时,轴承转动到108转量级后,轴承动态摩擦力矩增大,转速急剧下降;采用扫描电子显微镜和能量色散谱(EDS)分析轴承工作表面,验证轴承工作表面有转移膜的形成。当轴承采用油润滑时,对轴承的润滑状态、机械密封结构及润滑油的泄漏量进行设计和计算表明,用非接触的组合式机械密封机构,能够降低油耗,减少润滑油对光学系统的污染,提高仪器的性能和指标,从而可以实现空间转动部件长时间工作的要求。
- 林雪松王立朋王淑荣
- 关键词：真空光学调制器泄漏量流导
- Fizeau干涉仪主机的热稳定性设计与分析被引量：8
- 2011年
- 搭建了光-机-热耦合模型,用于分析Fizeau干涉仪光机系统的热稳定性,并研究了该系统的计算流程、环境温度和系统光学质量的随机性、系统光学质量与环境温度的关系等。首先,根据实验室温控条件,建立环境温度的随机分布模型,进行了光-机-热耦合分析并计算不同温度下光机结构的热分布和结构变形;然后,通过Zernike多项式拟合透镜表面面形和曲率半径,利用光学仿真软件分析变形后的光学系统;最后,对系统光学质量进行概率分析,评价了系统的热稳定性。分析结果表明,温度控制在(22±0.1)℃时,在2σ的置信水平下,Fizeau干涉仪的出射光波前的重复性可以达到0.016%λ,基本满足干涉仪主机光机系统的重复性要求。
- 王平王汝冬田伟王立朋隋永新杨怀江
- φ150mm菲索干涉仪球面标准具结构分析与设计被引量：2
- 2011年
- 在高精度的光学元件面形检测中,为了保证检测的精度,必须对高精度菲索干涉仪的标准镜的自重和温度变形进行严格地控制。针对高精度菲索干涉仪标准镜的精度要求,设计了一种新的标准镜装卡结构。采用有限元方法分析了标准镜在胶接方式下的表面变形情况,参考面表面变形峰谷(PV)值仅为9.6nm,均方根(RMS)值为2.1nm。同时对不同环境温度下参考面的变形进行了计算得出面形的峰谷值和均方根值。最后介绍球面标准具的装配过程。
- 田伟王平王汝冬隋永新王立朋杨怀江
- 关键词：应用光学有限元法
- 一种大承载光学元件倾斜调整机构
- 一种大承载光学元件的倾斜调整机构，属于光学技术领域，现有光学元件倾斜调整机构，应用在大型光学元件上时采用一般形式的弹簧螺杆倾斜调整架，调整分辨率不稳定的问题，本发明提供了一种大承载光学元件倾斜调整机构，包括：电动调节单元...
- 王汝冬田伟王平王立朋隋永新
- 文献传递
- MoS_2基复合薄膜润滑球轴承在真空环境下的摩擦性能研究被引量：5
- 2008年
- 分析了MoS2基复合薄膜润滑球轴承的润滑机制,研究了MoS2基复合薄膜润滑深沟球轴承在不同真空度下的摩擦力矩,在真空度4×10-4Pa条件下,对空间光学调制器支撑轴承进行1 a的工程试验,并采用扫描电子显微镜和能量色散谱仪分析轴承表面及工作区的形貌及其成分.结果表明:在4×10-4Pa下,轴承的摩擦力矩随转速增加而趋于稳定;空间光学调制器中MoS2基复合薄膜润滑球轴承在工作区内生成了转移膜,使得轴承的摩擦力矩变小,并实现了108量级的转动圈数.由此证明MoS2基复合薄膜润滑球轴承适用于真空环境中.
- 林冠宇王淑荣王立朋
- 关键词：真空二硫化钼轴承摩擦力矩
- 一种大承载光学元件倾斜调整机构
- 一种大承载光学元件的倾斜调整机构，属于光学技术领域，现有光学元件倾斜调整机构，应用在大型光学元件上时采用一般形式的弹簧螺杆倾斜调整架，调整分辨率不稳定的问题，本发明提供了一种大承载光学元件倾斜调整机构，包括：电动调节单元...
- 王汝冬田伟王平王立朋隋永新
- 旋转支撑法去除元件面形测量的夹持误差被引量：13
- 2011年
- 为实现对光学元件的高精度面形测量,建立了一种旋转支撑结构的高精度测量方法。对该方法的理论原理、数值仿真和误差分析等进行了研究。首先根据元件夹持工况仿真分析了支撑变形的特性。接着用泽尼克多项式拟合波面,建立了旋转支撑法的理论模型,并推导出光学元件去除支撑影响后的面形公式。用仿真分析的方式验证了理论模型,对计算的面形结果与理论面形进行了比较分析。最后,分析了影响旋转支撑法测量精度的误差项。仿真分析结果表明,通过两次旋转支撑结构的方式,可以有效地去除元件支撑造成的面形误差,计算值与真实值之间的误差为支撑误差的泽尼克多项式的高阶对称项,满足元件面形的高精度检测要求。
- 王平田伟王汝冬王立朋隋永新杨怀江
- 氯苯基硅油润滑球轴承在真空环境下摩擦性能与泄漏量研究被引量：4
- 2009年
- 阐明氯苯基硅油润滑球轴承的润滑机理,对不同真空度和转速下的轴承摩擦力矩进行研究.在真空度3×10-5Pa条件下,选用FY-3卫星'紫外臭氧垂直探测仪'光学调制器电机样机和进口电机进行8个月工程试验后,利用高倍显微镜分析试验轴承表观状态,并分析氯苯基硅油的泄漏量.结果表明:在3×10-5Pa下,所用试验轴承的摩擦力矩值随着转速的增大而趋向稳定;氯苯基硅油润滑球轴承摩擦力矩的变化量为9.8×10-4Nm,小于采用Maplub101润滑的进口电机轴承摩擦力矩变化量;试验期间氯苯基硅油的泄漏量为1.92mg,证明采用氯苯基硅油润滑适合光学调制器在真空环境下长期运转.
- 林冠宇王淑荣王立朋
- 关键词：轴承摩擦力矩泄漏量
- 小磨头自适应抛光抑制高精度非球面中频误差被引量：15
- 2013年
- 研究了高精度非球面中频误差的抑制方法和磨头抑制特性等问题,提出了一种小磨头自适应抛光抑制中频误差的方法。将铣磨后中频误差明显的非球面进行预抛光,以去除亚表面损伤。使用气囊抛光方法将非球面面形精抛到较高精度。使用自研的双柔性自适应抛光磨头进行多轮抛光抑制精抛后非球面表面残留的中频误差,并使用计算全息(CGH)进行面形检测,直到Zernike残差不再收敛。使用此方法成功抛光了一块口径为150mm、最大偏离度为0.183mm的熔石英非球面。通过3轮中频误差抑制,面形方均根值(RMS)从预抛光后的76nm收敛至4.5nm;相应地,Zernike残差RMS由精抛后的22.72nm收敛至3.46nm。实验结果表明,该方法可以实现非球面中频误差的快速有效抑制。
- 张健代雷王飞王立朋
- 关键词：光学制造非球面
- 193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究被引量：7
- 2012年
- 光刻是大规模集成电路制造过程中最为关键的工艺,光刻的分辨力主要取决于光刻投影物镜的光学性能。光刻投影物镜光学元件面形精度为纳米量级,其对光学元件的加工及物镜单镜支撑提出了极高的要求。为193nm光刻投影物镜高精度的单镜面形,设计了一种运动学单镜支撑结构。运用有限元法(FEM)分析光刻投影物镜单镜运动学支撑结构在重力下物镜镜片的面形变化量,经分析物镜镜片的峰值(PV)值为15.46nm,均方根(RMS)误差为3.62nm。为了验证有限元计算精度,建立了可去除参考面面形及被测面原始面形的方法。经过分析对比,仿真结果与实验结果面形的PV值为2.356nm,RMS误差为0.357nm。研究结果表明,所设计的基于运动学193nm光刻投影物镜单镜支撑结构能够满足193nm光刻投影物镜系统对于物镜机械支撑结构的要求。
- 田伟王平王汝冬王立朋隋永新
- 关键词：应用光学光学检测有限元法
