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耿锋
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上海市计量测试技术研究院
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吴俊杰
上海市计量测试技术研究院
傅云霞
上海市计量测试技术研究院
李源
上海市计量测试技术研究院
蔡潇雨
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雷李华
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作者
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雷李华
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蔡潇雨
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李源
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吴俊杰
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1篇
2015
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一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头
本实用新型为一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头,所述的测头由方形底板、电容传感器阵列、十字梁和测针组成,其特征在于:所述的测头有多个电容传感单元,呈阵列式分布于方形底板上,测针连接在十字梁的中心连接体上,十字梁的悬...
雷李华
蔡潇雨
李源
吴俊杰
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耿锋
翁浚婧
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一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头
本发明为一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头,所述的测头由方形底板、电容传感器阵列、十字梁和测针组成,其特征在于:所述的测头有多个电容传感单元,呈阵列式分布于方形底板上,测针连接在十字梁的中心连接体上,十字梁的悬臂与...
雷李华
吴佳欢
蔡潇雨
简黎
李源
吴俊杰
邓林涓
傅云霞
耿锋
翁浚婧
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一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头
本发明为一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头,所述的测头由方形底板、电容传感器阵列、十字梁和测针组成,其特征在于:所述的测头有多个电容传感单元,呈阵列式分布于方形底板上,测针连接在十字梁的中心连接体上,十字梁的悬臂与...
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李源
吴俊杰
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