钱劲
- 作品数：5 被引量：63H指数：2
- 供职机构：北京大学更多>>
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- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 压阻式微型气体流量计芯片及其制备方法和流量计
- 本发明的提供了一种压阻式微型气体流量计芯片及其制备方法。芯片周边为硅框架，中心为一带穿通图形的硅膜片，膜片中心的多孔区构成了一个网状结构拉住四块应变膜片，四块应变膜片用于设置两对垂直摆放的应变电阻。芯片制备方法是以常规压...
- 张大成王小保钱劲李婷刘蓓张威王兆江王阳元
- 文献传递
- 压阻式微型气体流量计芯片及其制备方法和流量计
- 本发明的提供了一种压阻式微型气体流量计芯片及其制备方法。芯片周边为硅框架，中心为一带穿通图形的硅膜片，膜片中心的多孔区构成了一个网状结构拉住四块应变膜片，四块应变膜片用于设置两对垂直摆放的应变电阻。芯片制备方法是以常规压...
- 张大成王小保钱劲李婷刘蓓张威王兆江王阳元
- 文献传递
- 大流量压阻式流量传感器的研制
- 2003年
- 根据流体力学差压原理 ,采用硅微机械加工手段设计制作了微挡板结构的压阻式流量传感器。测试结果表明 ,该传感器具有测量 0 .1～
- 王小保钱劲张大成
- 关键词：流体力学压敏电阻差压
- 微电子机械系统中的残余应力问题被引量：45
- 2001年
- 残余应力一直是微系统技术 (MST)发展中一个令人关注的问题 ,它影响着MEMS器件设计、加工和封装的全过程。文中考虑薄膜中残余应力的起源 ,介绍测量残余应力的主要方法 ,并就计算薄膜中残余应力的Stoney公式及其推广形式作了详细的讨论 ,针对微尺度下残余应力对MEMS结构力学行为的影响 。
- 钱劲刘澂张大成赵亚溥
- 关键词：残余应力屈曲粘附
- MEMS器件的计算机辅助设计与模拟被引量：18
- 2001年
- 概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计和模拟过程 ,分析了MEMSCAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题 ,讨论了目前经常采用的各种模拟系统的模拟形式和应用范围。并结合静电微马达与微米 纳米镊子实例 ,分析了模块化的CAD软件结构形式以及所用MEMS材料的数据库建立和应用连接 ,所提出并采用的开发方式适用于微传感器及微执行器等微系统器件的设计与模拟。
- 孙克豪钱劲张立宪余同希赵亚溥
- 关键词：微电子机械系统计算机辅助设计数据库计算机模拟CAD
