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唐亮

作品数：44 被引量：3H指数：1
供职机构：北京工业大学更多>>
发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 43篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 7篇自动化与计算...
  • 4篇金属学及工艺
  • 2篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 19篇晶圆
  • 13篇扫描电镜
  • 8篇吸盘
  • 8篇大尺寸
  • 6篇图像
  • 6篇半导体
  • 6篇半导体制造
  • 6篇半导体制造设...
  • 6篇残余应力
  • 5篇厚度
  • 4篇导轨
  • 4篇扫描图像
  • 4篇前驱体
  • 4篇热电子
  • 4篇描图
  • 4篇拉曼
  • 4篇拉曼光谱
  • 4篇光谱
  • 4篇残余应力测试
  • 4篇亚表面

机构

  • 44篇北京工业大学
  • 1篇浙江大学

作者

  • 44篇唐亮
  • 23篇秦飞
  • 23篇安彤
  • 23篇王仲康
  • 23篇孙敬龙
  • 21篇张跃飞
  • 13篇宇慧平
  • 13篇陈沛
  • 7篇张泽
  • 4篇王晋
  • 2篇王明明
  • 2篇任超
  • 2篇郑坤
  • 2篇闫德宝
  • 1篇吕俊霞

传媒

  • 1篇电子显微学报

年份

  • 1篇2024
  • 3篇2023
  • 3篇2022
  • 5篇2021
  • 3篇2020
  • 2篇2019
  • 6篇2018
  • 4篇2017
  • 5篇2016
  • 7篇2015
  • 5篇2014
共 44 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
扫描电镜内原位蠕变与疲劳测试点追踪定位方法及系统
本发明涉及一种扫描电镜内原位蠕变与疲劳测试点追踪定位方法及系统。该方法包括：当扫描电镜第一次观察待测样品时，利用扫描电镜在不同放大倍数下分别选取所述待测样品上明显的特征点所处区域作为定位图像；记录不同放大倍数下每张定位图...
张宜旭张跃飞唐亮刘陵恩何文玲周建立张泽
文献传递
一种大尺寸磨削晶圆表面腐蚀装置
一种大尺寸磨削晶圆表面腐蚀装置，属于半导体制造设备技术领域，其结构简单，操作方便。包括：支脚、回收槽、吸盘支架、吸盘、液体承载部分。回收槽上设有导轨、真空控制开关、废液排放口；吸盘支架内设抽真空管道；液体承载部分包括：滑...
秦飞孙敬龙安彤陈沛宇慧平王仲康唐亮
一种大尺寸晶圆真空吸盘
一种大尺寸晶圆真空吸盘涉及半导体制造设备技术领域。其包括：吸持面、吸持面固定螺钉、上吸孔、下吸孔、吸盘、多孔物、开孔支撑垫、开孔支撑垫固定螺栓、气道接口、气道接口固定螺栓。吸持面与吸盘通过可拆卸螺钉连接，吸持面与吸盘之间...
秦飞孙敬龙安彤陈沛宇慧平王仲康唐亮
文献传递
一种扫描电子显微镜真空腔室内电磁干扰消除系统及方法
本发明涉及一种扫描电子显微镜真空腔室内电磁干扰消除系统及方法。该消除方法采用的主动降噪技术能够实时检测外界引入的干扰信号，当干扰信号中存在与工频信号不一致的干扰信号时，利用嵌入式系统内置的信号发生器发出与干扰信号频率相同...
张跃飞陈居田唐亮张宜旭王永峰刘陵恩张泽
文献传递
一种去除扫描电镜中非导电样品荷电效应的方法
一种去除扫描电镜中非导电样品荷电效应的方法涉及扫描电镜领域。为了在不镀膜的条件下看到绝缘样品的真实形貌而又不会产生荷电效应，本专利提出一种消除扫描电镜下观察非导电样品的方法并提出扫描电镜下观察非导电样品的装置。利用该方法...
刘陵恩张跃飞唐亮张宜旭郑坤王永峰佟翔宇程晓鹏
文献传递
一种大尺寸超薄晶圆的夹持装置
一种大尺寸超薄晶圆的夹持装置涉及半导体制造设备技术领域。其结构简单，操作方便。包括设备支撑底座、吸盘部分、提手部分和电机驱动部分。其特征在于：所述支撑底座位于吸盘边缘且可进行旋转；所述吸盘由二个腔室组成，腔室之间通过可旋...
秦飞孙敬龙安彤陈沛宇慧平王仲康唐亮
一种小型高温压痕力学性能测试设备
本发明公开了一种结构可靠、加载稳定、精度高的小型高温压痕力学性能测试设备，Z向移动板由Z向驱动装置驱动沿底板上的Z向移动导轨往复滑动；Z向移动板上由下至上依次设有Z向压电陶瓷模块和压头安装板；高温压头在压头安装板的一端；...
张跃飞马晋遥王晋唐亮
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扫描电镜内原位蠕变与疲劳测试点追踪定位方法及系统
本发明涉及一种扫描电镜内原位蠕变与疲劳测试点追踪定位方法及系统。该方法包括：当扫描电镜第一次观察待测样品时，利用扫描电镜在不同放大倍数下分别选取所述待测样品上明显的特征点所处区域作为定位图像；记录不同放大倍数下每张定位图...
张宜旭张跃飞唐亮刘陵恩何文玲周建立张泽
一种磨削晶圆表面腐蚀装置
一种大尺寸磨削晶圆表面腐蚀装置，属于半导体制造设备技术领域，其结构简单，操作方便。包括：支脚、回收槽、吸盘支架、吸盘、液体承载部分。回收槽上设有导轨、真空控制开关、废液排放口；吸盘支架内设抽真空管道；液体承载部分包括：滑...
秦飞孙敬龙安彤陈沛宇慧平王仲康唐亮
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一种大尺寸磨削晶圆厚度在线测量方法
一种大尺寸磨削晶圆厚度在线测量方法，属于集成电路测试领域。将直铝片平铺在真空吸盘上，电容传感器沿铝片半径分布在铝片上方，电容检测装置通过屏蔽线与铝片和电容传感器相连接，形成回路系统，以检测电容量。然后，标定出电容传感器电...
秦飞孙敬龙安彤陈沛宇慧平王仲康唐亮
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