您的位置： 专家智库 > >

邢聪

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：西安交通大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇硬质
  • 1篇硬质涂层
  • 1篇真空系统
  • 1篇正极
  • 1篇涂层
  • 1篇聚束
  • 1篇靶材
  • 1篇沉积速率

机构

  • 1篇西安交通大学

作者

  • 1篇雷哲锋
  • 1篇宋忠孝
  • 1篇邢聪
  • 1篇程亮亮

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
一种硬质涂层的快速沉积装置及方法
一种硬质涂层的快速沉积装置及方法，该装置包括阴极弧源以及开设进气口的真空腔体；真空腔体与真空系统相连，真空腔体与阴极弧源之间设有用于聚束腔体；聚束腔体与真空腔体相连通，且聚束腔体内设置有待测样，待测样与阴极弧源之间设有靶...
宋忠孝雷哲锋邢聪程亮亮宋佳豪
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0