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文献类型

  • 8篇中文专利

主题

  • 6篇原子气体
  • 6篇原子钟
  • 6篇磁强计
  • 4篇单晶
  • 4篇单晶硅
  • 4篇单晶硅片
  • 4篇阳极键合
  • 4篇键合
  • 4篇硅片
  • 2篇引线
  • 2篇湿法腐蚀
  • 2篇收发
  • 2篇收发组件
  • 2篇腔体
  • 2篇腔体结构
  • 2篇金属化
  • 2篇金属化孔
  • 2篇晶面
  • 2篇刻蚀
  • 2篇雷达

机构

  • 8篇中国电子科技...

作者

  • 8篇郑林华
  • 8篇刘建勇
  • 8篇王光池
  • 8篇许磊
  • 4篇王晓东
  • 4篇齐步坤
  • 2篇胡骏
  • 2篇陈兴国
  • 2篇王健
  • 2篇马强

年份

  • 2篇2015
  • 6篇2014
8 条 记 录,以下是 1-8
排序方式:
基于MEMS技术的原子气体腔器件及其制造方法
本发明涉及一种基于MEMS技术的原子气体腔器件及其制造方法。所述原子气体腔器件具有典型的三明治结构,由一层具有通孔的硅片和两层玻璃片键合围成的腔体结构构成。所述的通孔的横截面为平行四边形,由(100)型的单晶硅片通过硅各...
许磊刘建勇王光池郑林华齐步坤王晓东
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一种四面扁平无引线封装式雷达收发组件的装置
一种四面扁平无引线封装式雷达收发组件的装置,包括盖板及由环框和基板组成的一体化盒体,盖板与环框顶部焊接,环框底部焊接在基板正面四周,基板底面四周靠近基板侧边处布置有若干第一焊盘,第一焊盘弯曲延伸至基板侧边,第一焊盘在基板...
刘建勇陈兴国郑林华胡骏马强王健许磊王光池
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具有双反射镜的微型原子气体腔器件及其制造方法
本发明涉及一种具有双反射镜的微型原子气体腔器件及其制造方法。所述的原子气体腔具有典型的三明治结构,由一层具有通孔的硅片和两层内部分别带有反射镜的玻璃片键合围成的腔体结构构成。所述的通孔由硅的干法刻蚀或湿法腐蚀工艺进行双面...
许磊郑林华刘建勇王光池王晓东齐步坤
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基于MEMS技术的原子气体腔器件
本实用新型涉及一种基于MEMS技术的原子气体腔器件及其制造方法。所述原子气体腔器件具有典型的三明治结构,由一层具有通孔的硅片和两层玻璃片键合围成的腔体结构构成。所述的通孔的横截面为平行四边形,由(100)型的单晶硅片通过...
许磊刘建勇王光池郑林华齐步坤王晓东
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一种有引线表面贴装式雷达收发组件的装置
一种有引线表面贴装式雷达收发组件的装置,该装置包括一体化盒体和盖板,一体化盒体包括环框、基板以及若干用来作为电源、控制信号、射频输入、射频输出的接口的引线,盖板与环框顶部焊接,环框底部焊接在基板正面四周,基板背面开有矩形...
刘建勇郑林华陈兴国胡骏马强王健王光池许磊
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具有双反射镜的微型原子气体腔器件
本实用新型涉及一种具有双反射镜的微型原子气体腔器件及其制造方法。所述的原子气体腔具有典型的三明治结构,由一层具有通孔的硅片和两层内部分别带有反射镜的玻璃片键合围成的腔体结构构成。所述的通孔由硅的干法刻蚀或湿法腐蚀工艺进行...
许磊郑林华刘建勇王光池王晓东齐步坤
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具有双反射镜和凹槽形结构的原子气体腔器件及其制造方法
本发明涉及具有双反射镜和凹槽形结构的原子气体腔器件及其制造方法。所述的原子气体腔器件由一层底部设有反射镜的具有凹槽的硅片和一层内部设有反射镜的玻璃片通过键合围成的腔体结构构成。所述的凹槽的横截面为倒梯形结构,由(100)...
许磊王光池郑林华刘建勇
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具有双反射镜和凹槽形结构的原子气体腔器件
本实用新型涉及具有双反射镜和凹槽形结构的原子气体腔器件及其制造方法。所述的原子气体腔器件由一层底部设有反射镜的具有凹槽的硅片和一层内部设有反射镜的玻璃片通过键合围成的腔体结构构成。所述的凹槽的横截面为倒梯形结构,由(10...
许磊王光池郑林华刘建勇
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共1页<1>
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