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齐步坤

作品数：5 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第三十八研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 4篇阳极键合
  • 4篇原子气体
  • 4篇原子钟
  • 4篇键合
  • 4篇磁强计
  • 2篇单晶
  • 2篇单晶硅
  • 2篇单晶硅片
  • 2篇湿法腐蚀
  • 2篇刻蚀
  • 2篇硅片
  • 2篇干法刻蚀
  • 2篇MEMS技术
  • 1篇低通
  • 1篇电路
  • 1篇电路研究
  • 1篇反射型
  • 1篇高通

机构

  • 5篇中国电子科技...

作者

  • 5篇齐步坤
  • 4篇郑林华
  • 4篇王晓东
  • 4篇刘建勇
  • 4篇王光池
  • 4篇许磊

传媒

  • 1篇电子世界

年份

  • 4篇2014
  • 1篇2013
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
基于MEMS技术的原子气体腔器件及其制造方法
本发明涉及一种基于MEMS技术的原子气体腔器件及其制造方法。所述原子气体腔器件具有典型的三明治结构，由一层具有通孔的硅片和两层玻璃片键合围成的腔体结构构成。所述的通孔的横截面为平行四边形，由（100）型的单晶硅片通过硅各...
许磊刘建勇王光池郑林华齐步坤王晓东
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具有双反射镜的微型原子气体腔器件及其制造方法
本发明涉及一种具有双反射镜的微型原子气体腔器件及其制造方法。所述的原子气体腔具有典型的三明治结构，由一层具有通孔的硅片和两层内部分别带有反射镜的玻璃片键合围成的腔体结构构成。所述的通孔由硅的干法刻蚀或湿法腐蚀工艺进行双面...
许磊郑林华刘建勇王光池王晓东齐步坤
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基于MEMS技术的原子气体腔器件
本实用新型涉及一种基于MEMS技术的原子气体腔器件及其制造方法。所述原子气体腔器件具有典型的三明治结构，由一层具有通孔的硅片和两层玻璃片键合围成的腔体结构构成。所述的通孔的横截面为平行四边形，由（100）型的单晶硅片通过...
许磊刘建勇王光池郑林华齐步坤王晓东
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具有双反射镜的微型原子气体腔器件
本实用新型涉及一种具有双反射镜的微型原子气体腔器件及其制造方法。所述的原子气体腔具有典型的三明治结构，由一层具有通孔的硅片和两层内部分别带有反射镜的玻璃片键合围成的腔体结构构成。所述的通孔由硅的干法刻蚀或湿法腐蚀工艺进行...
许磊郑林华刘建勇王光池王晓东齐步坤
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数字式移相器电路研究被引量：1
2013年
作为相控阵雷达的基本单元和关键模块,数字式移相器一直是现代微波电路研究的重点。本文分析了移相器的发展动态,总结了数字式移相器的主要电路结构,给出了电路的基本工作原理,并讨论了各种电路结构的特点和适用范围,对现代数字式移相器设计具有重要的指导意义。
齐步坤
关键词：反射型高通低通
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