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工业型扫描探针显微平台样品粗定位技术研究: 工业型扫描探针显微镜(SPM)需要复现微结构的全三维形貌，且要求高度的工作效率和自动化程度。其主要应用于半导体制造行业中，实现对大尺寸(4~8吋)晶圆中微结构特定区域(约几十微米)关键尺寸的检测。为提高工业SPM的检测效...; 万建峰; 关键词：自动聚焦图像匹配

工业型扫描探针显微系统样品快速定位方法被引量：2: 2015年; 针对工业型扫描探针显微镜(SPM)在大尺寸晶圆样品检测中对扫描区域进行粗定位的需要,提出了一种基于数字图像处理的快速定位方法.该方法首先实现对样品表面的快速自动聚焦,之后利用图像匹配技术寻找样品表面的定位标记,最后通过坐标变换得到各待测区域在系统坐标系下的位置.根据晶圆样品表面的特征,在自动聚焦过程中选取Robert算子作为聚焦评价函数,并以变步长的爬坡策略搜索焦平面;在图像匹配过程中采用SURF算法提取图像上的标记特征,并利用双向匹配方式提高匹配准确性.实验表明,采用该方法实现粗定位耗时小于30s,定位误差小于5μm.; 胡晓东万建峰吴森徐临燕李凯凯徐建国卢念航; 关键词：自动聚焦图像匹配

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万建峰