徐建国
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 工业型SPM的电控系统设计
- 扫描探针显微镜（Scanning Probe Microscope，SPM）自发明以来，在生物、化学、物理和材料等诸多领域都取得了广泛的应用。SPM家族中的原子力显微镜（Atomic Force Microscope，A...
- 徐建国
- 关键词：扫描探针显微镜电控系统下位机设计模式
- 基于扭转谐振模式3D-AFM的微结构侧壁形貌检测
- 2016年
- 针对半导体器件微结构侧壁关键尺寸检测需求,设计了一套三维原子力显微镜(3D-AFM)系统.该系统采用针尖末梢为喇叭口形的悬臂梁探针,以扭转谐振模式实现横向轻敲扫描.介绍了该3D-AFM系统的结构组成和工作原理,对系统的横向检测灵敏度进行了标定,获得了喇叭口针尖与样品侧壁横向接近过程中探针扭转振幅的变化曲线.利用该系统对栅格标样侧壁局部形貌进行了线扫描和面扫描,所得轮廓具有较好的重复性,且测量所得形貌特征与常规轻敲模式扫描结果一致,表明本文所述3D-AFM系统及工作模式能够用于微结构侧壁形貌的检测.
- 刘璐徐建国吴森张锐徐临燕胡晓东
- 关键词：原子力显微镜
- 工业型扫描探针显微系统样品快速定位方法被引量：2
- 2015年
- 针对工业型扫描探针显微镜(SPM)在大尺寸晶圆样品检测中对扫描区域进行粗定位的需要,提出了一种基于数字图像处理的快速定位方法.该方法首先实现对样品表面的快速自动聚焦,之后利用图像匹配技术寻找样品表面的定位标记,最后通过坐标变换得到各待测区域在系统坐标系下的位置.根据晶圆样品表面的特征,在自动聚焦过程中选取Robert算子作为聚焦评价函数,并以变步长的爬坡策略搜索焦平面;在图像匹配过程中采用SURF算法提取图像上的标记特征,并利用双向匹配方式提高匹配准确性.实验表明,采用该方法实现粗定位耗时小于30s,定位误差小于5μm.
- 胡晓东万建峰吴森徐临燕李凯凯徐建国卢念航
- 关键词：自动聚焦图像匹配
