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钟静

作品数：6 被引量：3H指数：1
供职机构：广东工业大学更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金广东省科技计划工业攻关项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 2篇学位论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 3篇金属学及工艺

主题

  • 3篇液膜厚度
  • 3篇真空发生器
  • 3篇真空管
  • 3篇真空吸盘
  • 3篇抛光
  • 3篇重力式
  • 3篇化学机械抛光
  • 3篇机械抛光
  • 3篇工件
  • 3篇CMP
  • 2篇旋转接头
  • 2篇抛光液
  • 2篇超薄
  • 1篇抛光垫
  • 1篇流场
  • 1篇可溶性
  • 1篇工艺参
  • 1篇工艺参数
  • 1篇沟槽

机构

  • 6篇广东工业大学

作者

  • 6篇钟静
  • 4篇魏昕
  • 4篇谢小柱
  • 3篇胡伟
  • 3篇袁文强
  • 1篇杨向东

传媒

  • 1篇制造技术与机...

年份

  • 1篇2017
  • 5篇2015
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种带真空吸盘的抛光头
本实用新型是一种带真空吸盘的抛光头，抛光头能够快速稳定吸附工件，能独立旋转并且转速可由抛光机调节，能改变抛光压力。抛光头由吸盘、高速旋转接头、真空软管、真空发生器按顺序串联组成，其中所述吸盘有两种方案：1.吸盘包括盘面、...
魏昕袁文强谢小柱胡伟钟静
文献传递
CMP过程中抛光垫表面沟槽对液膜厚度影响研究被引量：3
2015年
抛光垫表面沟槽结构是决定抛光液抛光效果的重要因素之一。为了研究抛光垫表面沟槽对化学机械抛光过程的影响,设计并搭建了高速摄影仪在线检测平台,检测并研究了有无沟槽及不同类型沟槽结构对液膜厚度的影响。实验结果表明:抛光垫开槽可以增加抛光液液膜厚度分布均匀性;在同心圆型、放射型、网格型、复合型4种类型抛光垫结构中复合型沟槽具有最优抛光效果。
钟静魏昕谢小柱杨向东
关键词：化学机械抛光液膜厚度
一种带真空吸盘的抛光头
本发明是一种带真空吸盘的抛光头，抛光头能够快速稳定吸附工件，能独立旋转并且转速可由抛光机调节，能改变抛光压力。抛光头由吸盘、高速旋转接头、真空软管、真空发生器按顺序串联组成，其中所述吸盘有两种方案：1.吸盘包括盘面、盘底...
魏昕袁文强谢小柱胡伟钟静
文献传递
一种带真空吸盘的抛光头
本发明是一种带真空吸盘的抛光头，抛光头能够快速稳定吸附工件，能独立旋转并且转速可由抛光机调节，能改变抛光压力。抛光头由吸盘、高速旋转接头、真空软管、真空发生器按顺序串联组成，其中所述吸盘有两种方案：1.吸盘包括盘面、盘底...
魏昕袁文强谢小柱胡伟钟静
文献传递
超薄不锈钢基板CMP过程中抛光液流动特性研究
超薄不锈钢基板是理想的柔性显示基板材料,如何降低超薄不锈钢基板表面粗糙度是制约着柔性显示器发展的关键问题。化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)以其超精密加工、无损伤表面和良...
钟静
关键词：化学机械抛光液膜厚度
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超薄不锈钢基板CMP过程中的抛光液流动特性研究
超薄不锈钢基板是理想的柔性显示基板材料，如何降低超薄不锈钢基板表面粗糙度是制约着柔性显示器发展的关键问题。化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing，CMP)以其超精密加工、无损伤表面和良好...
钟静
关键词：化学机械抛光液膜厚度工艺参数
文献传递
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