袁文强
- 作品数：11 被引量：3H指数：1
- 供职机构：广东工业大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金广东省科技计划工业攻关项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
- 超薄不锈钢基板CMP抛光头和温度在线检测装置研究
- 304不锈钢是柔性显示器基板的理想材料，改善它的表面质量是将其应用于下一代软性显示器技术的前提。化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing，CMP)协同了机械作用与化学作用，以其超精密无损伤...
- 袁文强
- CMP抛光界面温度的在线检测被引量：1
- 2016年
- 介绍了化学机械抛光过程中监控抛光界面温度的重要性。总结了其他学者对抛光界面温度的检测方法,并分析每种方法的优缺点。设计了一种抛光界面温度在线检测装置,介绍了它的结构和组成该装置的各元件型号及性能。进行了不同抛光压力、抛光盘转速和抛光液流量的CMP试验,并利用该装置检测各情况下的抛光界面温度变化。为了进一步地说明该装置的有效性,将抛光液流量为20m L/min时的温度检测结果与仿真结果对比,六组对比数据都十分接近,同时也验证了该计算方法的有效性。提出了将该温度检测装置应用于判断抛光过程是否正常以及某些工件的抛光终点检测的想法。
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- 关键词：化学机械抛光温度
- 超薄不锈钢基板CMP抛光头的改进被引量：1
- 2016年
- 介绍了化学机械抛光过程中传统的工件夹持方式,针对传统夹持方式在夹持超薄不锈钢基板等柔性工件时存在的缺点,设计了一种新的CMP抛光头,该抛光头采用真空吸盘吸附工件。同时设计了相应的真空气路系统,保证抛光头响应速度和对工件夹持的可靠性。通过ABAQUS软件分析了超薄不锈钢基板在抛光过程中的变形及其与抛光垫之间的接触压力,得到真空吸盘的合理结构。最后采用改进后的抛光头进行不锈钢基板抛光实验,并对比基板抛光前后表面质量验证抛光头的有效性。
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- 关键词：化学机械抛光
- 一种预备体网格模型的颈缘线自动提取方法
- 本发明公开了一种预备体网格模型的颈缘线自动提取方法，包括：S1、计算预备体网格模型顶点的平均曲率；S2、采用基于K-means聚类的方法处理所得曲率值，得到特征点集F；S3、采用一种改进的折线生长技术，得到折线点集合F<...
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- 文献传递
- 一种带真空吸盘的抛光头
- 本实用新型是一种带真空吸盘的抛光头，抛光头能够快速稳定吸附工件，能独立旋转并且转速可由抛光机调节，能改变抛光压力。抛光头由吸盘、高速旋转接头、真空软管、真空发生器按顺序串联组成，其中所述吸盘有两种方案：1.吸盘包括盘面、...
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- 文献传递
- 化学机械抛光过程中抛光界面的温度检测装置
- 本实用新型提供了一种在不影响抛光工艺过程的前提下高精度地实时检测抛光界面温度的装置，还提供了利用检测到的温度信号进行抛光终点判断和抛光过程监控的方法。该温度检测装置由温度传感器、信号处理模块、导电滑环、信号接收装置、电源...
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- 一种带真空吸盘的抛光头
- 本发明是一种带真空吸盘的抛光头，抛光头能够快速稳定吸附工件，能独立旋转并且转速可由抛光机调节，能改变抛光压力。抛光头由吸盘、高速旋转接头、真空软管、真空发生器按顺序串联组成，其中所述吸盘有两种方案：1.吸盘包括盘面、盘底...
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- 文献传递
- 一种应用于熔融沉积成型3D打印机的送丝机构
- 本实用新型提供一种应用于熔融沉积成型3D打印机的送丝机构，其包括：步进电机、固定座、主动轮、螺钉螺母、从动轮、预紧弹簧、从动轮支杆、固定板、拉伸弹簧、检测杆、螺钉A、螺钉B、金属片、接近传感器，固定座固定在步进电机上，主...
- 魏昕肖兵李永杰袁文强邹建军谢小柱
- 文献传递
- 一种带真空吸盘的抛光头
- 本发明是一种带真空吸盘的抛光头，抛光头能够快速稳定吸附工件，能独立旋转并且转速可由抛光机调节，能改变抛光压力。抛光头由吸盘、高速旋转接头、真空软管、真空发生器按顺序串联组成，其中所述吸盘有两种方案：1.吸盘包括盘面、盘底...
- 魏昕袁文强谢小柱胡伟钟静
- 文献传递
- 化学机械抛光过程中抛光界面的温度检测装置及温度信号的利用
- 本发明提供了一种在不影响抛光工艺过程的前提下高精度地实时检测抛光界面温度的装置，还提供了利用检测到的温度信号进行抛光终点判断和抛光过程监控的方法。该温度检测装置由温度传感器、信号处理模块、导电滑环、信号接收装置、电源及连...
- 魏昕袁文强谢小柱胡伟宋乾
- 文献传递
