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李月珍

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇单晶
  • 2篇氧含量
  • 2篇仪器
  • 2篇直拉硅
  • 2篇直拉硅单晶
  • 2篇滤光片
  • 2篇硅单晶
  • 2篇硅片
  • 2篇红外
  • 2篇红外仪器
  • 1篇单晶片
  • 1篇区熔
  • 1篇区熔硅单晶
  • 1篇晶片
  • 1篇硅单晶片

机构

  • 2篇中国科学院上...

作者

  • 2篇朱建生
  • 2篇谭淞生
  • 2篇李月珍

年份

  • 1篇1994
  • 1篇1993
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
硅红外滤光片的热处理工艺
一种旨在降低直拉硅单晶氧含量，提高硅红外滤光片透过率的硅片热处理工艺，其特征是将硅片在400-1000℃温度间的四段温区逐步升温并保温适当时间并在硅片冷却至850℃以下时取出，处理后的直拉硅单晶片在9μm处的透过率接近或...
谭淞生朱建生李月珍
文献传递
硅红外滤光片的热处理工艺
一种旨在降低直拉硅单晶氧含量，提高硅红外滤光片透过率的硅片热处理工艺，其特征是将硅片在400-1000℃温度间的四段温区逐步升温并保温适当时间并在硅片冷却至850℃以下时取出，处理后的直拉硅单晶片在9μm处的透过率接近或...
谭淞生朱建生李月珍
文献传递
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