2024年12月31日
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刘兆武
作品数:
110
被引量:59
H指数:4
供职机构:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
吉林省科技发展计划基金
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相关领域:
机械工程
理学
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合作作者
李文昊
中国科学院长春光学精密机械与物...
王玮
中国科学院长春光学精密机械与物...
巴音贺希格
中国科学院长春光学精密机械与物...
吕强
中国科学院长春光学精密机械与物...
姜珊
中国科学院长春光学精密机械与物...
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2014
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双层浮动读数头的光栅位移测量装置、方法、介质及设备
本发明涉及光栅测量领域,具体涉及一种双层浮动读数头的光栅位移测量装置、方法、介质及设备。在基板工作面的两个第一侧边上设置第一测量光栅组,以及对称设置在第一基准线两侧且靠近所述通光件设置的第二测量光栅组,在同侧设置的第一测...
李文昊
周文渊
刘兆武
姜珊
王玮
孙宇佳
刘林
梁旭
金思宇
一种具有阿贝误差校正功能的光栅刻刀主动调整装置
本发明涉及光栅刻划技术领域,具体公开一种具有阿贝误差校正功能的光栅刻刀主动调整装置。本发明包括刀架升降机构、刀架支撑架、微定位工作台、工作台安装座、柔性铰链、压电陶瓷、拉簧、小刀架、金刚石刻刀;压电陶瓷与微定位工作台通过...
李晓天
于海利
唐玉国
刘兆武
杨超
齐向东
文献传递
光栅位移测量方法
本发明提供一种光栅位移测量方法,包括:S1、通过光源发出线偏振光,经准直后出射到光学结构上;S2、通过光学结构将线偏振光垂直入射到测量光栅的表面,并将衍射后产生携带测量信息的±1级衍射光入射至两组分束结构;S3、通过两组...
李文昊
刘兆武
于宏柱
王玮
吉日嘎兰图
姚雪峰
文献传递
一种消像差平面衍射光栅的机械刻划方法
本发明公开一种消像差平面衍射光栅的机械刻划方法,包括:采用所述激光干涉计对刻划刀架的固有位置误差进行测量;采用衍射波前测量仪对所述光栅基底的面形误差进行测量;根据步骤一测量得到的刻划刀架固有位置误差和步骤二得到的光栅基底...
李晓天
于海利
唐玉国
刘兆武
杨超
齐向东
文献传递
长行程、高精度测量的光栅位移测量方法
本发明公开了一种长行程、高精度测量的光栅位移测量方法,包括如下步骤:双频激光器发出正交偏振的双频激光被分束棱镜和90°折转镜分为两束光,并分别入射到两偏振分光棱镜被两偏振分光棱镜分束为P光及S光;所述P光及S光经过四个四...
李文昊
吕强
巴音贺希格
宋莹
刘兆武
王玮
基于扫描曝光技术的光栅基底面形误差补偿方法、装置
本发明涉及光栅研制技术领域,具体涉及基于扫描曝光技术的光栅基底面形误差补偿方法、装置,具体地,本申请采用基于扫描干涉场曝光系统干涉条纹相位调制的光栅基底面形误差补偿技术,解决了在全息光栅研制领域基底面形加工误差使光栅衍射...
巴音贺希格
姜珊
李昱伯
刘兆武
王玮
李文昊
李烁
姜岩秀
轴承内外径测量装置及其测量方法
本发明涉及轴承测量技术领域,提供一种轴承内外径测量装置及其测量方法,用于解决在装夹时存在偏心误差,精度不高,拟合计算直径时存在拟合误差的问题。本发明利用V型块的定位特性,无需对轴承进行回转,避免了装调时偏心等因素带来的仪...
于硕
王玮
李文昊
姚雪峰
张桐
刘兆武
白雪龙
一种光栅刻线弯曲自动控制校正方法
一种光栅刻线弯曲自动控制校正方法,涉及光栅刻划技术领域,解决现有光栅刻线弯曲校正技术需要采用机械设计方法对光栅刻划机机械结构进行多次反复的改进设计和安装调试,存在设计过程复杂、效率低且刻线弯曲校正效果较差等问题,本发明包...
李晓天
于海利
唐玉国
杨超
刘兆武
齐向东
文献传递
一种基于利特罗衍射的光栅位移测量装置及方法
本申请属于超精密位移测量技术领域,具体提供一种基于利特罗衍射的光栅位移测量装置及方法,该装置包括:光源系统、光学系统、光栅、光电接收模块及信号处理系统,光栅为平面反射式的闪耀光栅,光源系统发出正交的第一和第二线偏振光;光...
孙宇佳
李文昊
刘林
刘兆武
于宏柱
金思宇
姜珊
王玮
姜岩秀
一种刀具颤振状态的在线检测装置
本发明提供了一种刀具颤振状态的在线检测装置,包括双频激光干涉仪、第一分光棱镜、激光干涉仪Y向测量单元、激光干涉仪X向测量单元、第三分光棱镜、二维光栅、二维光栅衍射结构单元、光栅Z向位移测量单元、光栅Y向位移测量单元、光栅...
吉日嘎兰图
李文昊
刘兆武
尹云飞
王玮
糜小涛
李晓天
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