李文昊
- 作品数：260 被引量：260H指数：10
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金吉林省科技发展计划基金“十一五”国家科技支撑计划更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种基于正交回转轴系的凸面光栅机械刻划系统及方法
- 本发明涉及机械光栅刻划技术领域，具体涉及一种基于正交回转轴系的凸面光栅机械刻划系统及方法，刻划系统包括刻划轨迹规划机构和刻划运动执行机构，刻划轨迹规划机构包括分度运动机构、刻划运动机构和刻划承载台，刻划运动机构与分度运动...
- 于硕于宏柱姚雪峰李文昊吉日嘎兰图刘兆武张博王锐博梁烘智李泽霖
- 长行程、高精度测量的光栅位移测量系统
- 本发明公开了一种长行程、高精度测量的光栅位移测量系统，包括：三个高刻线密度光栅，所述三个高刻线密度光栅呈“品”字形布设形成测量光栅，位于上侧的所述高刻线密度光栅的左端承载于位于左侧的所述高刻线密度光栅的右端，右端承载于位...
- 李文昊吕强巴音贺希格宋莹刘兆武王玮
- 文献传递
- 宽波段全息罗兰光栅的优化被引量：9
- 2011年
- 罗兰光栅存在的主要像差是像散和弧矢彗差,影响其光通量和光谱分辨率。根据凹面全息光栅的几何像差理论,分析了记录光源点在罗兰圆外所制作的全息罗兰光栅的宽波段像差特性。发现像散和弧矢彗差能够在两个波长处被同时消除;并且在两波长之间的波段范围内,像散和弧矢彗差相对传统光栅均得到明显改善。基于此像差特性提出一种设计宽波段高分辨罗兰光栅的方法,通过选择适当的使用结构和校正波长,能够在整个使用波段有效地校正像散和弧矢彗差。利用这种优化方法设计了工作波段为160~600 nm的罗兰光栅。光线追迹结果显示,所设计光栅的光谱分辨率和能量集中度在整个使用波段较传统光栅均有显著提高。
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- 关键词：光栅全息像差校正宽波段
- 二维光栅位移测量技术综述被引量：10
- 2020年
- 超精密位移测量技术不仅是精密机械加工的基础,在以摩尔定律飞速发展的芯片制造行业中也起到决定性的作用。以光栅栅距为测量基准的光栅位移测量系统被广泛应用于多维测量系统,光栅位移测量系统与激光位移测量系统相比,大大降低了对使用环境的湿度、温度和气压的要求。本文主要介绍了近年来国内外基于二维光栅的位移传感系统光学结构的发展现状,从零差式和外差式光栅干涉测量原理入手,综述了基于单块二维光栅的光学结构到多块二维光栅耦合设计的光学结构发展历程,对比分析了几种二维光栅位移测量系统的优缺点,并展望了二维光栅位移测量系统发展趋势,总结了二维光栅位移测量系统的工程化进程。
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- 应用于光刻系统工作台的位移测量光学系统
- 本发明公开了一种应用于光刻系统工作台的位移测量光学系统，第一差频干涉装置用于产生中心波长为第一波长值的差频相干光，分别向第一反射镜和第二反射镜发射两频率成分光，并接收两束光返回后汇合形成的干涉光；第二差频干涉装置用于产生...
- 李文昊刘兆武巴音贺希格李晓天宋莹姜珊王玮吕强
- 文献传递
- 一种位移与角度同步测量系统
- 本发明公开了一种位移与角度同步测量系统，包括：激光器、分束器、读数头、测量光栅、接收器以及信号处理系统；读数头将第一双频激光和第二双频激光经偏振分束后经过反射以利特罗角入射至所述测量光栅上，然后携带相位信息的衍射光按原路...
- 王玮巴音贺希格吕强李文昊宋莹刘兆武姜珊
- 一种用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法
- 本发明公开一种用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法，用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法的结构包括光束宏动调整模块及光束微动调整模块，用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法步骤如下：激光束首先进入光束微动调整模...
- 巴音贺希格王玮宋莹姜珊吕强李文昊刘兆武
- 一种二维平面全息光栅曝光方法
- 本申请涉及全息光栅制作的技术领域，具体公开一种二维平面全息光栅曝光方法，包括步骤一，配备分振幅型小口径二维平面全息光栅曝光装置；步骤二，配备具有激光干涉仪的二维运动工作台；步骤三，配备外差式二维干涉图样相位锁定装置；步骤...
- 巴音贺希格宋莹李文昊唐玉国姜珊
- 文献传递
- 一种在全息光栅制作光路中精确调整刻线密度的方法
- 一种在全息光栅制作光路中精确调整刻线密度的方法，属于光谱技术领域中涉及的一种方法。要解决的技术问题是提供一种在全息光栅制作光路中精确调整刻线密度的方法。解决的技术方案为：步骤一，配备一套用于全息光栅曝光的洛艾镜式曝光光学...
- 李文昊巴音贺希格齐向东孔鹏韩建
- 文献传递
- 一种修磨夹具
- 本发明涉及一种修磨夹具。解决待研磨部件不易在转动盘上摆平，重新装回整体结构很难保证待研磨部件的原有位置的问题，包括基板、垫板、固定件、调整杆、螺孔、锁紧部件、待研磨部件整体结构、转动盘、压块、夹紧元件、夹紧孔，本发明的基...
- 李英海齐向东巴音贺希格高健翔于宏柱李文昊
- 文献传递
