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任继东

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇微电子
  • 1篇投影光刻
  • 1篇投影光刻机
  • 1篇图形发生器
  • 1篇微电子技术
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工
  • 1篇历史使命
  • 1篇激光
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻机
  • 1篇光学

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇任继东
  • 1篇张世恩
  • 1篇周得时

传媒

  • 2篇电子工业专用...

年份

  • 1篇1992
  • 1篇1991
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
光学微细加工技术的发展和我所的历史使命
1991年
光学微细加工技术的飞速发展 目前,世界微电子器件正朝着高集成化、高功能化和高可靠性的理想境界发展,不断缩小图形线宽,增大晶片尺寸,采用新的设计结构,从而导致微细加工设备更新速度加快。半导体工业的附加值和技术含量正不断移向微细加工领域,设备的作用越来越重要。
任继东张世恩
关键词：光学微细加工微电子技术
前苏联的微电子专用设备情况初探
1992年
本文简要介绍了前苏联微电子工业及其微电子专用设备,特别是波朗纳尔科研生产联合体在激光图形发生器、分步投影光刻机及平面电机应用等方面的技术发展状况。
任继东周得时
关键词：投影光刻机激光图形发生器
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