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安其

作品数：8 被引量：6H指数：2
供职机构：北京北仪创新真空技术有限责任公司更多>>
发文基金：上海市引进技术的吸收与创新计划项目上海市博士后科研资助计划资助更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信理学动力工程及工程热物理更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 3篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 3篇一般工业技术
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇理学

主题

  • 4篇电池
  • 3篇太阳电池
  • 2篇动密封
  • 2篇密封
  • 2篇非晶硅
  • 2篇薄膜太阳电池
  • 2篇磁控
  • 1篇等离子体增强
  • 1篇电池生产
  • 1篇电池生产线
  • 1篇电阻率
  • 1篇叠层
  • 1篇叠层太阳电池
  • 1篇动密封装置
  • 1篇镀膜
  • 1篇行星
  • 1篇行星齿轮
  • 1篇行星运动
  • 1篇有机化学
  • 1篇真空镀膜

机构

  • 8篇北京北仪创新...
  • 1篇上海空间电源...

作者

  • 8篇安其
  • 2篇张永和
  • 1篇周丽华
  • 1篇刘成
  • 1篇陈鸣波
  • 1篇钱子勍
  • 1篇黄芃
  • 1篇陈素君
  • 1篇崔文博
  • 1篇叶晓军
  • 1篇彭俊杰

传媒

  • 3篇真空
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 2篇2012
  • 5篇2011
  • 1篇2010
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
行星工件架
本实用新型涉及一种行星工件架，包括电机、动密封装置、中心齿轮、行星架、工件盘、行星齿轮和行星齿轮部件，其特征在于：所述电机包括第一电机和第二电机；所述第一电机与所述行星架连接，用于驱动所述行星架，使所述行星架与所述第一电...
安其张永和董玢越
文献传递
用于制备ZnO薄膜的金属有机化学气相沉积设备的研制
2010年
介绍了一种制备ZnO薄膜的金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备,制备的ZnO薄膜主要用作太阳能电池的背反射电极。该设备的极限压力可达5×10-5 Pa,膜厚均匀性偏差在5%以内,薄膜电阻率约为10-2Ω.cm。本文叙述了设备的用途,技术性能,工作过程和结构特点。并对ZnO薄膜的电阻率与参加反应的水蒸汽流量的关系进行了简单介绍。
安其王红雪陈素君
关键词：薄膜太阳电池电阻率
等离子体增强化学气相沉积设备的研制被引量：4
2012年
本文介绍非晶硅薄膜太阳能电池生产线的核心设备———等离子体增强化学气相沉积(PECVD,Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)系统,并阐述了其重要地位。非晶硅太阳能电池制造的关键技术是非晶硅薄膜的制备,目前最常见的制备方法是PECVD技术。PECVD技术凭借其低温沉积、可大面积成膜、成膜均匀等特点,在非晶硅薄膜制备方面迅速发展。PECVD系统用于制备非晶硅太阳能电池的关键结构P、I、N硅薄膜层。本文阐述了该设备的结构特点、技术指标、工作原理及工艺过程,对沉积室的结构和配置进行了详细设计计算,非晶硅太阳能电池稳定后的转化效率可达6%。
安其
关键词：非晶硅太阳能电池PECVD
聚酯振膜镀膜用磁控溅射设备
2011年
本文介绍了一种在PET材料上镀制Ni膜的磁控溅射镀膜设备的结构及特点,解决了PET材料无法在高温环境中镀膜的问题。具有操作方便、成本低、生产效率高、膜层质量好及膜层制备可重复性好等特点。在实际生产中取得了良好的效果,有广阔的应用前景。
安其
关键词：PET磁控溅射
金属屏蔽罩对柔性衬底微晶硅太阳电池特性的影响被引量：2
2011年
通过改变硅烷浓度,采用等离子体增强化学气相沉积方法制备了在有无金属屏蔽罩两种情况下的系列微晶硅太阳电池,发现将金属屏蔽罩去除后,本征微晶硅材料的沉积速率提高约一倍,微晶相至非晶相的硅烷浓度转变点有所变化。将沉积条件应用于不锈钢柔性衬底的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池,获得了9.28%(AM0,1353 W/m2)和11.26%(AM1.5,1000W/m2)的光电转换效率。
刘成安其周丽华钱子勍叶晓军陈鸣波
关键词：柔性衬底屏蔽罩微晶硅叠层太阳电池
非晶硅薄膜太阳电池生产线
安其刘洁雅汪光武彭俊杰张永和
太阳能光伏发电作为一种清洁的绿色能源产业，受到国家高度重视。非晶硅薄膜太阳电池技术，以其较低的成本、丰富材料来源、较低的能源消耗等特点，成为未来光伏发电技术的主要发展趋势之一。非晶硅薄膜太阳电池发电技术要实现大规模应用，...
关键词：
关键词：非晶硅薄膜太阳电池生产线真空镀膜设备
整体式观察窗机构
本实用新型公开了一种整体式观察窗机构，包括观察窗和观察窗挡板，所述观察窗挡板通过挡板轴安装在所述观察窗内部，所述挡板轴穿过所述观察窗上开设的孔与所述观察窗相垂直。本实用新型的整体式观察窗机构占用空间小，真空室所开孔大小相...
安其崔文博董玢越黄芃
文献传递
可转换角度的磁控圆靶
本实用新型公开了一种可转换角度的磁控圆靶，磁控圆靶的上部垂直安装于腔室上盖上，磁控圆靶的下部弯曲并朝向基体，磁控圆靶设有轴向移动装置和围绕轴向调整角度装置，磁控圆靶既可沿轴向移动，又可围绕轴向调整角度，效率高、能满足不同...
安其
文献传递
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