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林欣家

作品数：17 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：矿业工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 17篇中文专利

领域

  • 1篇矿业工程

主题

  • 7篇装卸
  • 7篇传动
  • 6篇导轨
  • 6篇直线导轨
  • 4篇炉体
  • 4篇半导体
  • 3篇氧化炉
  • 3篇支撑架
  • 3篇支撑腿
  • 3篇石英
  • 3篇受力
  • 3篇丝杠
  • 3篇平移
  • 3篇热偶
  • 3篇立式
  • 3篇连接板
  • 3篇门框
  • 3篇扩散
  • 3篇滚珠
  • 3篇滚珠丝杠

机构

  • 17篇北京七星华创...

作者

  • 17篇林欣家
  • 16篇郝琪
  • 11篇董金卫
  • 1篇张敏亮
  • 1篇宋新丰

年份

  • 1篇2017
  • 5篇2016
  • 10篇2014
  • 1篇2013
共 17 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种热偶升降装置
本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种热偶升降装置，包括热偶支撑架，调整热偶支撑架高度的升降机构，支撑升降机构的支撑腿，所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台上，所述支撑腿为三个连杆，所述连杆一端与所述支撑动平台可转动...
郝琪林欣家董金卫
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半导体扩散设备中石英反应管的装卸装置及其装卸方法
一种半导体扩散设备中石英反应管的装卸装置及方法，该装置与石英反应管的升降装置配合使用，升降装置包括与反应管相接触的接口法兰；该装置包括平移驱动结构、直线导轨、支撑臂和用于可分离地固定石英反应管辅助支撑结构；在装载过程中，...
林欣家郝琪董金卫
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立式氧化炉炉体半自动装卸装置
本发明公开了一种立式氧化炉炉体半自动装卸装置，包括主体框架，设于主体框架底部的运输定位机构，驱动传动机构，由驱动传动机构驱动转动的两个升降链轮，分别绕接于升降链轮的两条升降链条以及承载机构。主体框架包括两个垂直设置的立柱...
林欣家郝琪
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半导体扩散设备的石英舟升降装置
本发明公开了一种半导体扩散设备的石英舟升降装置，包括驱动机构、支撑件、双直线导轨、滚珠丝杠、连接板和承载石英舟的升降臂。支撑件横截面为U形，双直线导轨直立地对称设置在支撑件两侧，滚珠丝杠设置在支撑件中部，其由驱动机构驱动...
林欣家郝琪董金卫
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立式氧化炉炉体半自动装卸装置
本实用新型公开了一种立式氧化炉炉体的装卸装置，包括主体框架，设于主体框架底部的运输定位机构，驱动传动机构，由驱动传动机构驱动转动的两个升降链轮，分别绕接于升降链轮的两条升降链条以及承载机构。主体框架包括两个垂直设置的立柱...
林欣家郝琪
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低压化学气相沉积系统（300mm）
1.本外观设计产品的名称：低压化学气相沉积系统（300mm）。;2.本外观设计产品的用途：用于硅晶片低压气相化学淀积。;主要用于300mm硅晶片多晶硅薄膜淀积和非晶硅薄膜淀积。;3.本外观设计的设计要点：在于产品的形状。...
董金卫宋新丰林欣家
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半导体扩散设备的石英舟旋转装置
本实用新型涉及半导体加工装置领域，提供了一种半导体扩散设备的石英舟旋转装置，该装置用于带动旋转盘及旋转盘上的石英舟旋转，包括旋转轴、轴套以及驱动机构；轴套与固定机构连接；旋转轴由驱动机构带动旋转，中部插设在轴套中，顶部与...
郝琪林欣家
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一种热偶升降装置
本实用新型涉及半导体加工技术领域，公开了一种热偶升降装置，包括热偶支撑架，调整热偶支撑架高度的升降机构，支撑升降机构的支撑腿，所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台上，所述支撑腿为三个连杆，所述连杆一端与所述支撑动平台可...
郝琪林欣家董金卫
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半导体扩散设备的石英舟升降装置
本发明公开了一种半导体扩散设备的石英舟升降装置，包括驱动机构、支撑件、双直线导轨、滚珠丝杠、连接板和承载石英舟的升降臂。支撑件横截面为U形，双直线导轨直立地对称设置在支撑件两侧，滚珠丝杠设置在支撑件中部，其由驱动机构驱动...
林欣家郝琪董金卫
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半导体扩散设备的石英舟升降装置
本实用新型公开了一种半导体扩散设备的石英舟升降装置，包括驱动机构、支撑件、双直线导轨、滚珠丝杠、连接板和承载石英舟的升降臂。支撑件横截面为U形，双直线导轨直立地对称设置在支撑件两侧，滚珠丝杠设置在支撑件中部，其由驱动机构...
林欣家郝琪董金卫
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