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董金卫

作品数：105 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺医药卫生文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 104篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 4篇自动化与计算...
  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇化学工程
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇医药卫生
  • 1篇文化科学

主题

  • 28篇炉体
  • 28篇半导体
  • 25篇立式
  • 17篇氧化炉
  • 13篇热偶
  • 12篇硅片
  • 9篇立式炉
  • 9篇密封
  • 8篇电偶
  • 8篇石英
  • 8篇热电偶
  • 7篇导轨
  • 7篇定位机构
  • 7篇直线导轨
  • 7篇晶片
  • 7篇半导体工艺
  • 6篇点火
  • 6篇通孔
  • 6篇外点
  • 6篇门锁

机构

  • 105篇北京七星华创...

作者

  • 105篇董金卫
  • 42篇孙少东
  • 37篇赵星梅
  • 36篇赵燕平
  • 35篇钟华
  • 11篇林欣家
  • 10篇郝琪
  • 9篇王丽荣
  • 7篇徐冬
  • 6篇周厉颖
  • 6篇郝永鹏
  • 6篇杨帅
  • 3篇王喆
  • 3篇王健
  • 3篇魏景峰
  • 3篇白鹏
  • 2篇刘慧
  • 2篇张芳
  • 2篇王艾
  • 2篇田博

年份

  • 2篇2017
  • 9篇2016
  • 10篇2015
  • 29篇2014
  • 11篇2013
  • 22篇2012
  • 6篇2011
  • 6篇2010
  • 10篇2009
共 105 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
立式炉体装配设备多点固定装置
本发明公开了一种立式炉体装配设备多点固定装置，所述装配设备包括内载圈以及位于所述内载圈顶部的上载圈，所述固定装置包括：第一连接部，位于所述内载圈径向的内侧，与所述内载圈通过螺钉固定；第二连接部，由所述第一连接部的上端沿所...
孙少东赵燕平董金卫钟华赵星梅
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300mm立式氧化炉石英舟升降装置
本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉石英舟升降装置，其特征在于：设有驱动电机(10)、丝杠(3)、直线导轨(4)、传动机构(5)、制动器(1)、外罩(2)和升降臂(7)；驱动电机通过传动机构、丝杠与升降臂连接，升降臂...
赵星梅董金卫张芳张海伦赛义德·赛迪
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300mm立式氧化炉石英舟
本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉石英舟，其特征在于：设有支撑杆(1)、加强筋(2)、石英底板(3)、石英顶板(4)；所述支撑杆设有四根，竖向垂直固定在所述石英底板和石英顶板之间，其相互间隔地设置，该间隔方便硅片取...
钟华董金卫赵星梅胡星强艾伦·埃马米
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一种热偶固定装置及温度测量装置
本发明公开了一种热偶固定装置及温度测量装置，包括依次套于热偶外罩的固定接头、密封卡套、夹紧片及锁紧螺母；所述固定接头的内侧端固定在真空发生腔室侧壁上，外侧端抵靠所述密封卡套的一端，所述夹紧片的两侧分别抵靠所述密封卡套的另...
杨帅董金卫卢言晓
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保温桶及具有该保温桶的立式热处理装置
本发明公开了一种保温桶及具有该保温桶的立式热处理装置，该保温桶用于支撑晶片舟，包括桶体及底座，所述桶体底部外边缘位于所述底座上表面内。本发明的保温桶及具有该保温桶的立式热处理装置，通过保温桶底座的较桶体突出部分的设置，可...
董金卫赵燕平赵星梅钟华林松
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一种热量排放装置
本实用新型涉及半导体热处理设备领域，尤其涉及一种置于炉体顶部的热量排放装置。该装置包括罩在炉体外的主箱体，顶部设置有与所述主箱体连通的排气罩，其中，所述排气罩内设有水冷部件；风道，与所述排气罩侧壁的通风口相连；风门，设置...
赵晨博董金卫
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一种热偶升降装置
本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种热偶升降装置，包括热偶支撑架，调整热偶支撑架高度的升降机构，支撑升降机构的支撑腿，所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台上，所述支撑腿为三个连杆，所述连杆一端与所述支撑动平台可转动...
郝琪林欣家董金卫
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一种热偶固定装置
本实用新型涉及半导体热处理设备领域，公开了一种热偶固定装置，所述热偶固定装置包括压块、夹持件和固定件，所述压块的内部依次设有螺纹孔、锥孔及通孔，所述夹持件包括底座和与底座连接的夹持爪，所述底座与固定件的一端连接，所述夹持...
谭瑞雷董金卫
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用于半导体热处理设备的立式晶舟
本发明涉及半导体生产装置领域。本发明的一种用于半导体热处理设备的立式晶舟，包括上下圆盘以及圆盘之间的连接立柱，其中，所述连接立柱为3根或3根以上，所述连接支柱之间固定有多层条状凸台，所述凸台相互平行，且上表面处于同一水平...
赵星梅董金卫魏景峰赵燕平
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门的安全开关装置
本发明公开了一种门的安全开关装置，包括固定在所述门上的门锁主体，以及固定在与门配合的腔壁上并与所述门锁主体的活动锁扣部配合的锁块，安全开关装置还包括：具有活动部的锁定单元、驱动所述锁定单元的活动部运动的驱动单元、以及向所...
王丽荣董金卫白鹏
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