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王丽荣

作品数：34 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：交通运输工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 34篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 24篇半导体
  • 13篇半导体设备
  • 8篇排气
  • 6篇门锁
  • 4篇气动
  • 4篇气动阀
  • 4篇密封
  • 4篇冷却水
  • 4篇阀门
  • 4篇负压
  • 3篇人身
  • 3篇人身安全问题
  • 3篇水管
  • 3篇水冷系统
  • 3篇气体
  • 3篇热传递
  • 3篇微环境
  • 3篇门框
  • 3篇内部流场
  • 3篇经济损失

机构

  • 34篇北京七星华创...

作者

  • 34篇王丽荣
  • 15篇宋新丰
  • 9篇董金卫
  • 7篇孙少东
  • 6篇周厉颖
  • 4篇刘红丽
  • 4篇张军奎
  • 4篇白鹏
  • 3篇钟华
  • 2篇赵晨博
  • 2篇张芳
  • 2篇张海轮
  • 1篇赵燕平
  • 1篇孙晋博
  • 1篇魏景峰
  • 1篇郝永鹏
  • 1篇兰云峰
  • 1篇赵星梅

年份

  • 3篇2016
  • 2篇2015
  • 20篇2014
  • 2篇2013
  • 5篇2012
  • 2篇2011
共 34 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
半导体设备专用配电柜
本发明公开了一种半导体设备专用配电柜，包括通断控制器件，用于实现所述配电柜配电输出通断；参量监测模块，用于对所述配电柜运行状态进行监测；现场总线通信模块，用于实现所述用电设备与控制模块之间的通信；控制模块，分别与所述现场...
张芳张海轮王丽荣慕晓航
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密封装置及密封系统
本发明公开了一种密封装置，涉及半导体工艺设备的密封技术领域，该装置包括：充气密封圈及为所述充气密封圈充气的充气装置，所述充气密封圈用于密封待密封空间，所述充气密封圈包括：充气圈及与所述充气圈形成为一体的固定座，所述充气圈...
王丽荣董金卫慕晓航赵星梅郝永鹏
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一种带有排气的冷却水供给装置
本实用新型公开了一种带有排气的冷却水供给装置，供给装置包括主管路，一端通过总控阀门连接至工厂冷却水供给端，另一端连接一排气支路；主管路并联有若干冷却水输出口，冷却水输出口连接冷却水支路，冷却水支路通过阀门连接至各冷却点的...
张军奎王丽荣宋新丰
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一种排气调节装置
本实用新型公开了一种排气调节装置，设置在主排气管上，其中排气调节装置包括设置在主排气管侧壁上的排气孔，还包括调节板和调节螺钉，用调节螺钉将调节板固定在主排气管外壁上分布有排气孔的位置，所述调节板上设置有通风孔，且调节板的...
王丽荣刘红丽
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一种半导体设备的微环境排气控制装置
本发明公开了一种半导体设备的微环境排气控制装置，将气动阀的气缸通过一开口部具有水平外延裙边的倒置环形凹槽形气缸支撑体与一上集气盒连接，一下集气盒连通微环境，开有支排排气孔，上集气盒开有设备主排排气孔和气动阀阀体进入孔，上...
刘红丽王丽荣宋新丰
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一种换热器均流装置
本实用新型公开了一种换热器均流装置，包括换热器、回风盒、回风盒下侧设有出风口，所述换热器与回风盒之间设有均流板，所述均流板划分至少两个不同的区域，所述均流板各区域设有若干个供气流通过的通孔，所述通孔大小和/或分布密度自上...
宋新丰王丽荣
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一种氧含量检测装置
本实用新型涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种氧含量检测装置。该氧含量检测装置包括氧气分析仪和一个或多个控制系统，所述氧气分析仪通过所述控制系统与检测区域连接。本实用新型的氧含量检测装置既可以检测到微环境传片洁净区域...
王丽荣董金卫孙少东
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一种用于制造半导体器件的氧化装置
本实用新型公开了一种用于制造半导体器件的氧化装置，包括：工艺管、炉门、密封装置，炉门位于工艺管底部，并在与工艺管接触部位形成沟槽，密封装置位于沟槽里，密封装置包括O型密封圈及密封圈压片，密封圈压片与工艺管接触，O型密封圈...
赵燕平王丽荣董金卫孙少东
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门的安全开关装置
本发明公开了一种门的安全开关装置，包括固定在所述门上的门锁主体，以及固定在与门配合的腔壁上并与所述门锁主体的活动锁扣部配合的锁块，安全开关装置还包括：具有活动部的锁定单元、驱动所述锁定单元的活动部运动的驱动单元、以及向所...
王丽荣董金卫白鹏
热处理装置
本发明涉及半导体处理装置，公开了一热处理装置，包括加热层及夹层，夹层环绕待加热样品以形成加热腔，加热层设置在加热腔内，用于加热待加热样品，夹层内部中空，以允许外界气体进入所述夹层。本发明通过在热处理装置中设置一内部中空的...
孙少东周厉颖王丽荣
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