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郝永鹏

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

主题

  • 5篇立式
  • 5篇炉体
  • 3篇轴套
  • 3篇限位
  • 3篇限位装置
  • 3篇花键
  • 3篇键槽
  • 2篇轴向
  • 1篇气圈
  • 1篇门框
  • 1篇密封
  • 1篇密封圈
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体工艺
  • 1篇半导体工艺设...
  • 1篇充气

机构

  • 6篇北京七星华创...

作者

  • 6篇董金卫
  • 6篇郝永鹏
  • 5篇孙少东
  • 5篇赵燕平
  • 2篇刘慧
  • 1篇王丽荣
  • 1篇赵星梅

年份

  • 2篇2014
  • 4篇2012
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
立式热处理设备炉体精密成型装置
本实用新型公开了一种立式热处理设备炉体精密成型装置，包括中轴、两端分别通过一组支撑辐板安装在所述中轴上的加热丝支撑板、以及安装在所述中轴上并分别位于两组支撑辐板轴向外侧的两个端部限位装置，所述中轴上与所述端部限位装置位置...
孙少东董金卫赵燕平郝永鹏
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立式热处理设备炉体成型装置
本发明公开了一种立式热处理设备炉体成型装置，包括中轴、轴向分开设置在所述中轴上的两组支撑辐板组以及两端分别与所述两组支撑辐板组连接的若干炉丝支撑板，所述每组支撑辐板组包括沿所述中轴径向分别向四周延伸的若干支撑辐板，所述每...
董金卫赵燕平孙少东刘慧郝永鹏
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立式热处理设备炉体精密成型装置
本发明公开了一种立式热处理设备炉体精密成型装置，包括中轴、两端分别通过一组支撑辐板安装在所述中轴上的加热丝支撑板、以及安装在所述中轴上并分别位于两组支撑辐板轴向外侧的两个端部限位装置，所述中轴上与所述端部限位装置位置对应...
孙少东董金卫赵燕平郝永鹏
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密封装置及密封系统
本发明公开了一种密封装置，涉及半导体工艺设备的密封技术领域，该装置包括：充气密封圈及为所述充气密封圈充气的充气装置，所述充气密封圈用于密封待密封空间，所述充气密封圈包括：充气圈及与所述充气圈形成为一体的固定座，所述充气圈...
王丽荣董金卫慕晓航赵星梅郝永鹏
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立式热处理设备炉体精密成型装置
本发明公开了一种立式热处理设备炉体精密成型装置，包括中轴、两端分别通过一组支撑辐板安装在所述中轴上的加热丝支撑板、以及安装在所述中轴上并分别位于两组支撑辐板轴向外侧的两个端部限位装置，所述中轴上与所述端部限位装置位置对应...
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立式热处理设备炉体成型装置
本发明公开了一种立式热处理设备炉体成型装置，包括中轴、轴向分开设置在所述中轴上的两组支撑辐板组以及两端分别与所述两组支撑辐板组连接的若干炉丝支撑板，所述每组支撑辐板组包括沿所述中轴径向分别向四周延伸的若干支撑辐板，所述每...
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