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马亮
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国计量学院
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发文基金:
浙江省大学生科技创新项目
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
冯宇飞
中国计量学院
王佳荣
中国计量学院
余森江
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余森江
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马亮
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冯宇飞
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1篇
2014
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薄膜结合能测量技术的最新进展
被引量:1
2014年
薄膜目前被广泛应用于各种高科技领域中。薄膜的力学性能,尤其是结合能,决定了薄膜器件的力学稳定性、抗疲劳能力及其使用寿命,因而对薄膜结合能的精确测定显得尤为重要。作者简要介绍了薄膜结合能测定的几种传统方法,包括划痕法、压印法、拉伸法、鼓泡法和剥离法。在此基础上,作者综述了最新发展起来的基于薄膜在载荷下发生形变的翘曲法,对该方法的测量原理、力学机制和适用范围进行了深入讨论。
冯宇飞
陈旗湘
马亮
王佳荣
余森江
关键词:
结合能
翘曲
力学性能
测量技术
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