宋跃
- 作品数：21 被引量：5H指数：2
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- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信语言文字文化科学更多>>
- 双工件台回转交换的同步控制系统设计
- 2016年
- 在目前普遍应用的步进扫描投影式光刻机中,工件台技术是光刻机的核心技术之一。为了实现双工件台交换的关键步骤--转台齿轮同步调向,提出了一种基于DSP和FPGA公自转同步调向交换双工件台的控制系统设计和实现方法。基于转台齿轮同步调向的双工件台回转交换方法与硬件装置,以TI公司型号为TMS320C6414的DSP为控制器,Altera公司型号为EP2S60F102014N的FPGA作为可编程逻辑器件,定义了通信协议,设计了信号采集装置,完成了基于PID的控制系统和算法的规划。在本文详细介绍了该控制系统的三相异步电机执行机构、传感器模块、信号处理模块、运动控制模块等方面的设计,最终通过实验,证明该系统可靠、稳定,能够达到预定的换台指标。
- 刘洋陈兴林何良辰宋跃张常江
- 关键词：光刻机DSPPID
- 光刻机工件台自转电机控制系统设计被引量：2
- 2016年
- 双工件台是光刻机的重要部分,为了保证其曝光的准确性,提出一种基于FPGA和DSP的工件台自转电机的控制系统设计方案。详细介绍了控制系统的驱动电路、永磁同步电机执行机构和传感器等方面的设计。运动控制卡主要采用TI公司的TMS320C6414芯片和Altera公司的EP2S60F102014N可编程逻辑器件,并定义信号传输协议。通过实验验证,系统在稳定性、快速性以及准确性上都达到要求。
- 宋跃张常江强盛刘洋何良辰
- 关键词：圆光栅
- 基于VME总线的光刻机多板卡通信接口设计被引量：2
- 2016年
- VME总线由于其高性能、兼容性、并行性和高可靠性一直在图像处理、军事通信等众多领域得到广泛应用。在集成电路芯片的制造设备光刻机中,利用VME总线能使工控机比较方便的对各个板卡进行指令传送和实时数据监控。本文在详细介绍VME总线功能特点的基础上,给出了一种在FPGA中将VME总线时序控制模块和双口RAM结合在一起,以实现工控机通过VME总线与多DSP信号处理板局部总线进行通信的接口设计方案。由仿真和实验结果表明,该接口数据发送和接收时序正确,逻辑严密,运行可靠。
- 张常江宋法质宋跃韩记晓陈兴林
- 关键词：VME总线光刻机FPGA双口RAM状态机
- 基于顾客行为偏好的体验式商业空间设计策略研究
- 宋跃
- 光刻机掩膜台微动台调平控制系统设计被引量：1
- 2015年
- 考虑到光刻机微动台相对于硅片调平运动的快速性、准确性和稳定性的要求,提出了一种基于DSP与FPGA的三自由度调平控制系统设计和实现方法。以TI公司的DSP TMS320C6414芯片为主控制器,Altera公司的EP2S60F102014N为协控制器,设计了以EP2C5Q208C8N为可编程器件的信号采集模块、传感器模块和驱动电路等方面,并通过实验证明整个控制系统的稳定性、快速性和准确性。
- 何良辰宋跃刘洋刘杨
- 关键词：光刻机
- 一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法
- 一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。本发明涉及一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。所述控制方法包括以下六个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制两个旋转电机的旋...
- 刘杨何良辰宋法质陈兴林刘洋宋跃张常江王一光万勇利赵为志
- 文献传递
- 一种双旋转电机系统的主从控制方法
- 一种双旋转电机系统的主从控制方法。本发明涉及一种双旋转电机系统的主从控制方法。所述双旋转电机系统包括定旋转电机、动旋转电机、旋转电机连接杆及台体，所述定旋转电机固定在台体上，所述定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转...
- 刘杨何良辰宋法质陈兴林刘洋宋跃张常江王一光万勇利赵为志
- 文献传递
- 公自转系统同步控制研究
- 双工件台作为光刻机运动控制的核心，是对焦以及曝光中的关键性的设备，而公自转系统作为双工件台换台核心的部件，是系统完成快速、稳定换台的关键。本文主要对公自转换台系统进行研究。 首先，对光刻机整体结构和功能进行简单的分析，...
- 宋跃
- 关键词：光刻机同步控制
- 基于遗传算法优化神经网络直线电机定位力辨识方法
- 本发明公开了一种基于遗传算法优化神经网络直线电机定位力辨识方法，其步骤如下：步骤一：由加速度传感器采集直线电机匀速拖动数据并换算为定位力数据。步骤二：确定神经网络拓扑结构。步骤三：初始化神经网络各个参数。步骤四：定义遗传...
- 刘杨何良辰刘洋陈震宇宋跃王一光
- 文献传递
- 多板卡同步顺序读取多路传感器数据的方法
- 多板卡同步顺序读取多路传感器数据的方法。它属于半导体制造装备的信号采集与数据通信的技术领域。其方法步骤一：将数据赋予不同的地址编码后存储在RAM内；二：DSP模块每隔200us发出一次读数请求；三：光栅数据地址编码发送模...
- 陈兴林刘洋王一光宋法质陈震宇何良辰张常江宋跃
- 文献传递
