张常江
- 作品数：26 被引量：5H指数：2
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- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信文化科学水利工程更多>>
- 双工件台回转交换的同步控制系统设计
- 2016年
- 在目前普遍应用的步进扫描投影式光刻机中,工件台技术是光刻机的核心技术之一。为了实现双工件台交换的关键步骤--转台齿轮同步调向,提出了一种基于DSP和FPGA公自转同步调向交换双工件台的控制系统设计和实现方法。基于转台齿轮同步调向的双工件台回转交换方法与硬件装置,以TI公司型号为TMS320C6414的DSP为控制器,Altera公司型号为EP2S60F102014N的FPGA作为可编程逻辑器件,定义了通信协议,设计了信号采集装置,完成了基于PID的控制系统和算法的规划。在本文详细介绍了该控制系统的三相异步电机执行机构、传感器模块、信号处理模块、运动控制模块等方面的设计,最终通过实验,证明该系统可靠、稳定,能够达到预定的换台指标。
- 刘洋陈兴林何良辰宋跃张常江
- 关键词：光刻机DSPPID
- 光刻机工件台自转电机控制系统设计被引量：2
- 2016年
- 双工件台是光刻机的重要部分,为了保证其曝光的准确性,提出一种基于FPGA和DSP的工件台自转电机的控制系统设计方案。详细介绍了控制系统的驱动电路、永磁同步电机执行机构和传感器等方面的设计。运动控制卡主要采用TI公司的TMS320C6414芯片和Altera公司的EP2S60F102014N可编程逻辑器件,并定义信号传输协议。通过实验验证,系统在稳定性、快速性以及准确性上都达到要求。
- 宋跃张常江强盛刘洋何良辰
- 关键词：圆光栅
- 基于电容传感器的多轴支撑气浮平台的调平方法
- 基于电容传感器的多轴支撑气浮平台的调平方法，属于光学领域，本发明为解决现有对气浮平台的调节方法对测量环境要求高，应用时局限较大，不能同时达到调节精度高和调节过程复杂程度低的问题。本发明所述调平方法的具体过程为：气源在三个...
- 崔莹王岩陈兴林刘启循李宗哲李泽辉彭汉章周乃新强盛王一光高怡然张常江黄成中
- 文献传递
- 基于高阶S型运动轨迹的位置与速度控制方法
- 基于高阶S型运动轨迹的位置与速度控制方法，属于精密运动控制领域。为了解决利用传统的轨迹规划算法的位置与速度控制方法的可移植性差的问题。所述控制方法包括：一：根据第N阶S曲线的限定值<Image file="DDA0000...
- 陈兴林宋法质王一光董岳刘杨陈震宇张常江万勇利刘洋何良辰
- 一种双旋转电机系统的主从控制方法
- 一种双旋转电机系统的主从控制方法。本发明涉及一种双旋转电机系统的主从控制方法。所述双旋转电机系统包括定旋转电机、动旋转电机、旋转电机连接杆及台体，所述定旋转电机固定在台体上，所述定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转...
- 刘杨何良辰宋法质陈兴林刘洋宋跃张常江王一光万勇利赵为志
- 文献传递
- 积分和二阶滑模控制在光刻机双工件台系统中的应用
- 超精密双工件台系统是光刻机中最为核心的子系统之一，对光刻机运行过程的硅片初始对准、步进扫描以及曝光等操作中起着关键性的作用，其跟踪定位精度直接影响着光刻机的分辨率，其系统性能的优劣与衡量光刻机性能的三大指标联系密切。所以...
- 张常江
- 关键词：光刻机滑模控制抗扰性
- 一种双工件台系统安全保护方法
- 一种双工件台系统安全保护方法，它属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤一：在多个多路运动控制卡内分别设置多组字节大小的双口RAM；二：多个多路运动控制卡中的FPGA以200us采样周期，通过VME工控机中的VME自定...
- 陈兴林宋法质王一光万勇利张常江董岳刘洋何良辰赵为志韩记晓
- 基于VME总线的光刻机多板卡通信接口设计被引量：2
- 2016年
- VME总线由于其高性能、兼容性、并行性和高可靠性一直在图像处理、军事通信等众多领域得到广泛应用。在集成电路芯片的制造设备光刻机中,利用VME总线能使工控机比较方便的对各个板卡进行指令传送和实时数据监控。本文在详细介绍VME总线功能特点的基础上,给出了一种在FPGA中将VME总线时序控制模块和双口RAM结合在一起,以实现工控机通过VME总线与多DSP信号处理板局部总线进行通信的接口设计方案。由仿真和实验结果表明,该接口数据发送和接收时序正确,逻辑严密,运行可靠。
- 张常江宋法质宋跃韩记晓陈兴林
- 关键词：VME总线光刻机FPGA双口RAM状态机
- 一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法
- 一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。本发明涉及一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。所述控制方法包括以下六个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制两个旋转电机的旋...
- 刘杨何良辰宋法质陈兴林刘洋宋跃张常江王一光万勇利赵为志
- 文献传递
- 一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真方法
- 一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真方法，涉及一种双工件台半物理仿真方法。它是为了适应对双工件台半物理仿真的需求。它的方法为：用户向上位机操作系统中输入位置指令；上位机操作系统通过以太网将位置指令发送给VME工控机并...
- 刘杨付雪微付振宪陈兴林张常江
- 文献传递
