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王佳鹏
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华北电力大学
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靳光亚
华北电力大学
朱松阳
华北电力大学
王娅
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机构
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华北电力大学
作者
4篇
吕媛
4篇
程友良
4篇
王娅
4篇
王佳鹏
4篇
朱松阳
4篇
靳光亚
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1篇
2017
3篇
2015
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一种半导体硅片清洗釜
本实用新型公开了一种半导体硅片清洗釜,包括釜体及与釜体密封连接釜盖,还包括插入釜体内部的清洗管,清洗管外端设有截止阀,在截止阀与釜体之间的清洗管上连接超生波发生器,在釜体壁上均布硅片吸盘连通孔,在釜体的外壁设有与硅片吸盘...
靳光亚
王佳鹏
王娅
朱松阳
吕媛
程友良
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一种半导体硅片清洗釜
本发明公开了一种半导体硅片清洗釜,包括釜体及与釜体密封连接釜盖,还包括插入釜体内部的清洗管,清洗管外端设有截止阀,在截止阀与釜体之间的清洗管上连接超生波发生器,在釜体壁上均布硅片吸盘连通孔,在釜体的外壁设有与硅片吸盘连通...
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一种适用于清洗釜的硅片夹持装置
本实用新型涉及一种适用于清洗釜的硅片夹持装置,包括固定用的底座,所述底座上方设置有过渡板,所述过渡板上方设置有上板,所述底座下方设置有通气孔,所述底座内设置有通气槽,所述通气槽贯穿至所述底座的上表面,且所述通气孔和所述通...
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王娅
王佳鹏
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一种半导体硅片清洗釜
本发明公开了一种半导体硅片清洗釜,包括釜体及与釜体密封连接釜盖,还包括插入釜体内部的清洗管,清洗管外端设有截止阀,在截止阀与釜体之间的清洗管上连接超生波发生器,在釜体壁上均布硅片吸盘连通孔,在釜体的外壁设有与硅片吸盘连通...
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