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朱松阳

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：华北电力大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

主题

  • 4篇硅片
  • 3篇体壁
  • 3篇体硅
  • 3篇硅片清洗
  • 3篇釜体
  • 3篇半导体
  • 3篇半导体硅
  • 3篇半导体硅片
  • 3篇波发生器
  • 3篇超生
  • 1篇底座
  • 1篇上板
  • 1篇通气
  • 1篇通气孔

机构

  • 4篇华北电力大学

作者

  • 4篇吕媛
  • 4篇程友良
  • 4篇王娅
  • 4篇王佳鹏
  • 4篇朱松阳
  • 4篇靳光亚

年份

  • 1篇2017
  • 3篇2015
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种半导体硅片清洗釜
本实用新型公开了一种半导体硅片清洗釜，包括釜体及与釜体密封连接釜盖，还包括插入釜体内部的清洗管，清洗管外端设有截止阀，在截止阀与釜体之间的清洗管上连接超生波发生器，在釜体壁上均布硅片吸盘连通孔，在釜体的外壁设有与硅片吸盘...
靳光亚王佳鹏王娅朱松阳吕媛程友良
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一种半导体硅片清洗釜
本发明公开了一种半导体硅片清洗釜，包括釜体及与釜体密封连接釜盖，还包括插入釜体内部的清洗管，清洗管外端设有截止阀，在截止阀与釜体之间的清洗管上连接超生波发生器，在釜体壁上均布硅片吸盘连通孔，在釜体的外壁设有与硅片吸盘连通...
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一种适用于清洗釜的硅片夹持装置
本实用新型涉及一种适用于清洗釜的硅片夹持装置，包括固定用的底座，所述底座上方设置有过渡板，所述过渡板上方设置有上板，所述底座下方设置有通气孔，所述底座内设置有通气槽，所述通气槽贯穿至所述底座的上表面，且所述通气孔和所述通...
靳光亚王娅王佳鹏朱松阳吕媛程友良
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一种半导体硅片清洗釜
本发明公开了一种半导体硅片清洗釜，包括釜体及与釜体密封连接釜盖，还包括插入釜体内部的清洗管，清洗管外端设有截止阀，在截止阀与釜体之间的清洗管上连接超生波发生器，在釜体壁上均布硅片吸盘连通孔，在釜体的外壁设有与硅片吸盘连通...
靳光亚朱松阳王佳鹏王娅吕媛程友良
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