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傅剑宇

作品数：56 被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国石油科技创新基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 47篇专利
  • 9篇期刊文章

领域

  • 10篇电子电信
  • 6篇自动化与计算...
  • 2篇理学
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 12篇探测器
  • 12篇刻蚀
  • 8篇感器
  • 8篇传感
  • 8篇传感器
  • 7篇焦平面
  • 7篇红外
  • 6篇面阵
  • 6篇焦平面阵列
  • 5篇悬臂
  • 5篇悬臂梁
  • 5篇硅基
  • 5篇衬底
  • 4篇氮化硅
  • 4篇氮化硅薄膜
  • 4篇等离子刻蚀
  • 4篇电极
  • 4篇电学
  • 4篇电子设备
  • 4篇电阻

机构

  • 45篇中国科学院微...
  • 12篇中国科学院重...
  • 6篇中国科学院大...
  • 3篇无锡物联网创...
  • 1篇中国科学院
  • 1篇重庆邮电大学
  • 1篇中芯国际集成...
  • 1篇昆山光微电子...

作者

  • 56篇傅剑宇
  • 24篇陈大鹏
  • 17篇殷华湘
  • 11篇李俊峰
  • 11篇许高博
  • 11篇李永亮
  • 11篇杨涛
  • 11篇王文武
  • 11篇李俊杰
  • 10篇欧毅
  • 9篇王桂磊
  • 9篇吴迪
  • 8篇王国胤
  • 7篇叶甜春
  • 7篇王玮冰
  • 7篇丁明正
  • 7篇尚海平
  • 7篇景玉鹏
  • 7篇李志刚
  • 5篇苟光磊

传媒

  • 2篇微纳电子技术
  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇半导体技术
  • 1篇红外与毫米波...
  • 1篇光子学报
  • 1篇红外技术
  • 1篇电子工业专用...
  • 1篇科学技术与工...

年份

  • 5篇2023
  • 5篇2022
  • 7篇2021
  • 4篇2020
  • 9篇2019
  • 4篇2018
  • 5篇2017
  • 2篇2016
  • 4篇2015
  • 4篇2014
  • 2篇2011
  • 1篇2010
  • 3篇2009
  • 1篇2007
共 56 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
丙酮气敏半导体传感器
本发明提供了一种丙酮气敏半导体传感器，包括：底座；支撑层，下表面与底座连接；金属层，设置在支撑层的上表面，金属层包括电隔离的加热电阻和电极；绝缘层，下表面与加热电阻连接；敏感层，设置在绝缘层上，且与电极电连接；应力调节层...
傅剑宇吴迪周博天袁野严胡勇
文献传递
一种微电极结构及其制作方法及包括该器件的电子设备
本发明提出了一种微电极结构及其制作方法，包括：衬底；在衬底上方形成的刻蚀终止层；在刻蚀终止层上方形成由电极层和牺牲层交错堆叠而成的堆叠层，牺牲层覆盖电极层的部分表面；在电极层的未被牺牲层覆盖的裸露部分上方形成的金属层；在...
李俊杰王桂磊李永亮周娜杨涛傅剑宇李俊峰殷华湘朱慧珑王文武
文献传递
X射线阵列传感器、探测器及其制作方法
一种X射线阵列传感器、探测器及其制作方法。该X射线阵列传感器包括：半导体衬底、第一掺杂区域、第二掺杂区域阵列，与第二掺杂区域交替设置的隔离覆盖结构，用于将第二掺杂区域进行电隔离；位于第二掺杂区域上、相邻的隔离覆盖结构之间...
殷华湘许高博翟琼华傅剑宇
硅基探测器及其制作方法
本发明提供了一种硅基探测器及其制作方法，该硅基探测器通过设计氧化隔离层的厚度由中部凹槽处向边缘处呈递增趋势，由此使得在离子注入时，第一掺杂区边缘处的纵向掺杂深度比中间位置处的纵向掺杂深度要小，减小了注入区边缘位置处的曲率...
孙朋傅剑宇许高博丁明正殷华湘陈大鹏
丙酮气敏传感器及其制备方法
本发明提供了一种丙酮气敏传感器，包括：底座，底座包括镂空结构；支撑层，一侧与底座的正面复合，且支撑层悬空地架设在镂空结构上；加热电阻，设置在支撑层的另一侧；绝缘层，复合在加热电阻及支撑层的另一侧；两个电极，间隔地设置在绝...
傅剑宇吴迪周博天袁野严胡勇
文献传递
X射线阵列传感器、探测器及其制作方法
一种X射线阵列传感器、探测器及其制作方法。该X射线阵列传感器包括：半导体衬底；具有相反掺杂离子类型的位于半导体衬底下表面处的第一掺杂区域和上表面处的第二掺杂区域阵列，第二掺杂区域阵列包括间隔设置的至少两个第二掺杂区域；与...
殷华湘许高博翟琼华傅剑宇
文献传递
一种红外吸收薄膜及其制备方法
本申请公开了一种红外吸收薄膜及其制备方法，属于微电子制造技术领域，解决了现有技术中的红外吸收薄膜仅在很窄的短波范围内具有较高吸收能力、制备设备昂贵以及微加工工艺兼容性差的问题。本申请的制备方法包括如下步骤：形成敏感层；在...
李俊杰傅剑宇高建峰周娜王桂磊李永亮杨涛李俊峰王文武
文献传递
一种二极管型红外热探测器热学参数的电学等效测试方法
2019年
红外热探测器的热学参数包括热容、热导、热响应时间,反应了结构信息和器件性能。精确有效地获得这些参数,对探测器的结构优化与性能评估具有指导意义。二极管型红外热探测器是红外热探测器的主要类型之一。基于二极管型红外热探测器的自热效应,提出了一种热学参数的电学等效测试方法,具有测量精度高且实现简单的特点。并对自制的一款二极管型红外焦平面阵列像元进行了测试,测试结果与理论分析相符,验证了方法的可行性。
刘超侯影傅剑宇傅剑宇魏德波刘瑞文
关键词：红外热探测器二极管热学参数
一种微尖端阵列器件及其制作方法
本发明涉及微电子技术中的深亚微米、纳米加工技术领域，公开了一种微尖端阵列器件，该器件由微尖端阵列、COMS控制电路单元和连接柱构成；微尖端阵列包括多个微尖端，每个微尖端通过一个连接柱与COMS控制电路单元进行机械和电学连...
陈大鹏傅剑宇景玉鹏欧毅叶甜春
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一种连续太赫兹波成像系统及其方法
本发明提供一种连续太赫兹波成像系统，其中包括：连续太赫兹辐射源；样品台；太赫兹焦平面阵列；光学系统；相机；计算机；并且连续太赫兹波成像系统还包括连续太赫兹辐射源和样品台之间的调制器，用于调制太赫兹连续波的光强。本发明还提...
傅剑宇尚海平李志刚王玮冰陈大鹏
文献传递
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