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吕耀

作品数：2 被引量：5H指数：1
供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇热导率

机构

  • 2篇中国科学院电...

作者

  • 2篇陈绍凤
  • 2篇宋青林
  • 2篇夏善红
  • 2篇吕耀

传媒

  • 1篇仪器仪表学报

年份

  • 2篇2004
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
薄膜热导率测量结构的研究
提出了一种用于薄膜热导率测量的微器件。利用微机械加工技术制作出相应的结构,其桥状薄膜的面积为800μm×2000μm,悬梁的面积为30μm×100μm,薄膜电阻经悬梁穿过氮化硅薄膜用于加热和测温。薄膜上的热流和温度分布十...
宋青林夏善红陈绍凤吕耀
关键词：热导率
文献传递
薄膜热导率测量结构的研究被引量：5
2004年
提出了一种用于薄膜热导率测量的微器件。利用微机械加工技术制作出相应的结构,其桥状薄膜的面积为800μm×2000μm,悬梁的面积为30μm×100μm,薄膜电阻经悬梁穿过氮化硅薄膜用于加热和测温。薄膜上的热流和温度分布十分均匀,可减小系统误差。实验中对0.5μm到2μm的一系列氮化硅薄膜进行了测量,得到了薄膜热导率的尺寸效应。
宋青林夏善红陈绍凤吕耀
关键词：热导率
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