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吕耀
作品数:
2
被引量:5
H指数:1
供职机构:
中国科学院电子学研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
机械工程
电子电信
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合作作者
夏善红
中国科学院电子学研究所
宋青林
中国科学院电子学研究所
陈绍凤
中国科学院电子学研究所
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吕耀
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仪器仪表学报
年份
2篇
2004
共
2
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薄膜热导率测量结构的研究
提出了一种用于薄膜热导率测量的微器件。利用微机械加工技术制作出相应的结构,其桥状薄膜的面积为800μm×2000μm,悬梁的面积为30μm×100μm,薄膜电阻经悬梁穿过氮化硅薄膜用于加热和测温。薄膜上的热流和温度分布十...
宋青林
夏善红
陈绍凤
吕耀
关键词:
热导率
文献传递
薄膜热导率测量结构的研究
被引量:5
2004年
提出了一种用于薄膜热导率测量的微器件。利用微机械加工技术制作出相应的结构,其桥状薄膜的面积为800μm×2000μm,悬梁的面积为30μm×100μm,薄膜电阻经悬梁穿过氮化硅薄膜用于加热和测温。薄膜上的热流和温度分布十分均匀,可减小系统误差。实验中对0.5μm到2μm的一系列氮化硅薄膜进行了测量,得到了薄膜热导率的尺寸效应。
宋青林
夏善红
陈绍凤
吕耀
关键词:
热导率
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