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才宏

作品数：3 被引量：3H指数：1
供职机构：吉林大学电子科学与工程学院更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金更多>>
相关领域：理学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇理学
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇纳米
  • 3篇纳米晶
  • 3篇纳米晶薄膜
  • 2篇气敏
  • 2篇气敏元件
  • 2篇晶体管
  • 1篇氧化铁
  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶法
  • 1篇气敏特性
  • 1篇气体传感
  • 1篇气体传感器
  • 1篇感器
  • 1篇镧
  • 1篇FET
  • 1篇LAFEO3
  • 1篇MOS场效应...
  • 1篇场效应
  • 1篇场效应晶体管
  • 1篇传感

机构

  • 3篇吉林大学
  • 1篇东北微电子研...

作者

  • 3篇赵慕愚
  • 3篇徐宝琨
  • 3篇才宏
  • 2篇赵善麒
  • 2篇赵纯
  • 2篇邢建力

传媒

  • 1篇高等学校化学...
  • 1篇Journa...
  • 1篇无机化学学报

年份

  • 2篇1994
  • 1篇1993
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
LaFeO3纳米晶薄膜及其气敏特性的研究
1994年
赵善麒才宏彭作岩赵纯徐宝琨赵慕愚邢建力
关键词：纳米晶薄膜气敏元件气敏特性
铁酸镧纳米晶薄膜制备及其在MOS场效应晶体管气敏元件上的应用
1993年
纳米晶固体材料是由粒径小于100nm的微晶颗粒聚集而成的块状或薄膜人工固体,它具有特殊性能。本文采用sol-gel法制备了LaFeO_3纳米晶薄膜,并与集成电路平面工艺相结合,首次研制出了用纳米晶薄膜作为栅控制极的MOS场效应晶体管乙醇敏感元件。
赵善麟赵纯才宏徐宝琨彭作岩赵慕愚
关键词：溶胶-凝胶法纳米晶薄膜
LaFeO_3　栅膜　FET　气体传感器的研究被引量：3
1994年
本文采用溶胶－凝胶技术制备ＬａＰｅＯ３纳米晶薄膜，并摸索出该薄膜的光刻方法，将这一成膜技术与集成电路平面工艺相结合，首次研制出了纳米晶薄膜作为栅极的场效应晶体管气体传感器，它对乙醇具有较高的灵敏度和良好的选择性．
赵善麒徐宝琨赵慕愚彭作岩才宏邢建力
关键词：气体传感器纳米晶薄膜晶体管
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