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宋乾

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：广东工业大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇信号
  • 2篇信号处理
  • 2篇信号处理模块
  • 2篇抛光
  • 2篇工艺过程
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 2篇传感器输出
  • 1篇实时检测
  • 1篇温度
  • 1篇温度范围
  • 1篇料层
  • 1篇工件

机构

  • 2篇广东工业大学

作者

  • 2篇胡伟
  • 2篇魏昕
  • 2篇谢小柱
  • 2篇袁文强
  • 2篇宋乾

年份

  • 2篇2015
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
化学机械抛光过程中抛光界面的温度检测装置
本实用新型提供了一种在不影响抛光工艺过程的前提下高精度地实时检测抛光界面温度的装置，还提供了利用检测到的温度信号进行抛光终点判断和抛光过程监控的方法。该温度检测装置由温度传感器、信号处理模块、导电滑环、信号接收装置、电源...
魏昕袁文强谢小柱胡伟宋乾
化学机械抛光过程中抛光界面的温度检测装置及温度信号的利用
本发明提供了一种在不影响抛光工艺过程的前提下高精度地实时检测抛光界面温度的装置，还提供了利用检测到的温度信号进行抛光终点判断和抛光过程监控的方法。该温度检测装置由温度传感器、信号处理模块、导电滑环、信号接收装置、电源及连...
魏昕袁文强谢小柱胡伟宋乾
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