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赵晓东

作品数：1 被引量：35H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇半导体
  • 1篇MEMS器件

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇童志义
  • 1篇赵晓东

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2002
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
国内外MEMS器件现状及发展趋势被引量：35
2002年
介绍了MEMS器件的发展历史 ,国内外研究和应用现状 ,对国内外差距进行了比较 ,给出了MEMS器件今后的一些发展趋势。同时 。
童志义赵晓东
关键词：MEMS器件半导体微细加工技术微电子机械系统
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