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李晶晶

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电子束光刻
  • 1篇声表面波
  • 1篇声表面波器件
  • 1篇光刻
  • 1篇X射线光刻
  • 1篇叉指换能器

机构

  • 1篇安徽大学
  • 1篇中国科学院微...

作者

  • 1篇陈军宁
  • 1篇柯导明
  • 1篇李晶晶
  • 1篇赵以贵

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
X射线光刻和剥离技术制作声表面波叉指换能器
2008年
提供了采用电子束光刻、X射线光刻和金属剥离技术制作亚微米尺寸的声表面波叉指换能器的方法。首先利用电子束光刻和微电镀技术制作X射线光刻的掩模,然后利用X射线光刻和剥离技术高效地制作大面积、纳米尺电、电极陡直均匀的叉指换能器。制备出的叉指电极特征尺寸为600 nm,面积为4 mm×6 mm,断指率小于3‰,可应用于高频声表面波器件中。研究结果表明,X射线光刻结合剥离技术是一种制备高频SAW器件的优良方法。
李晶晶赵以贵贾锐李冬梅牛洁斌柯导明陈军宁
关键词：声表面波器件叉指换能器X射线光刻电子束光刻
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