赵以贵
- 作品数：10 被引量：6H指数：1
- 供职机构：华东电子工程研究所更多>>
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- 相关领域：理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 采用电子束直写曝光制作声表面波器件的方法
- 本发明公开了一种采用电子束直写曝光制作声表面波器件的方法，该方法是利用电子束光刻在压电衬底上获得叉指换能器的电子抗蚀剂凹立图形，然后再用剥离工艺制作各种声表面波器件。具体步骤包括：在压电衬底上涂敷电子抗蚀剂；前烘；生长对...
- 赵以贵刘明牛洁斌
- 文献传递
- 一种采用X射线曝光制作声表面波器件的方法
- 本发明公开了一种采用X射线曝光制作声表面波器件的方法，该方法是利用电子束光刻在镂空的聚酰亚胺自支撑薄膜上制作叉指换能器的母版，再利用X射线曝光在压电衬底上获得叉指换能器的电子抗蚀剂凹立图形，然后再用剥离工艺制作各种声表面...
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- 文献传递
- 用于气体检测的亚微米尺寸声表面波延迟线的制作方法
- 本发明公开了一种用于气体检测的亚微米尺寸声表面波延迟线的制作方法，该方法利用电子束直写光刻技术制备出具有亚微米尺寸声表面波延迟线图形作为X射线曝光掩模板，然后在压电基片上采用X射线曝光得到凹立的延迟线图形，通过电子束蒸发...
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- 文献传递
- SAW化学战剂传感器的研究进展被引量：1
- 2008年
- 简要叙述了声表面波(SAW)化学战剂传感器的传感原理和研究进展。详细阐述了高Q低插损SAW振荡电路的设计、敏感膜材料和成膜技术的研究进展,指出了SAW化学战剂传感器发展的趋势。
- 赵以贵刘明牛洁斌
- 关键词：声表面波化学传感器敏感膜
- 一种采用X射线曝光制作声表面波器件的方法
- 本发明公开了一种采用X射线曝光制作声表面波器件的方法，该方法是利用电子束光刻在镂空的聚酰亚胺自支撑薄膜上制作叉指换能器的母版，再利用X射线曝光在压电衬底上获得叉指换能器的电子抗蚀剂凹立图形，然后再用剥离工艺制作各种声表面...
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- 文献传递
- 声表面波气体传感器设计与制作
- 2014年
- 阐述了声表面波（SAW）甲基膦酸二甲酯（DMMP）气体传感器的设计和制作过程。为提高探测灵敏度和选择性,主要考虑了SAW振荡器的频率稳定性,敏感材料巯基十一酸（MUA）采用了分子自组装成膜方式和Cu2＋化学修饰。实验结果显示：在1~100mg/m3的浓度范围内具有好的线性度和21Hz/mg/cm3的灵敏度。
- 赵以贵李维龙张森
- 关键词：声表面波气体传感器甲基膦酸二甲酯
- X射线光刻和剥离技术制作声表面波叉指换能器
- 2008年
- 提供了采用电子束光刻、X射线光刻和金属剥离技术制作亚微米尺寸的声表面波叉指换能器的方法。首先利用电子束光刻和微电镀技术制作X射线光刻的掩模,然后利用X射线光刻和剥离技术高效地制作大面积、纳米尺电、电极陡直均匀的叉指换能器。制备出的叉指电极特征尺寸为600 nm,面积为4 mm×6 mm,断指率小于3‰,可应用于高频声表面波器件中。研究结果表明,X射线光刻结合剥离技术是一种制备高频SAW器件的优良方法。
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- 关键词：声表面波器件叉指换能器X射线光刻电子束光刻
- EBL制备用于气体传感器的SAW延迟线的方法
- 2010年
- 电子束光刻(EBL)具有高的分辨率,能制备具有亚微米尺寸的声表面波(SAW)器件。一种采用EBL技术制备用于气体传感器的具有亚微米尺寸的SAW延迟线的方法:首先利用EBL在压电衬底上获得叉指换能器(IDT)的电子抗蚀剂图形;然后用剥离工艺制作出IDT电极。通过邻近效应校正和提高场拼接精度,制作的叉指电极具有一致性,电极形貌好。相对于干法刻蚀工艺,剥离工艺避免了对压电衬底表面的物理损伤。该技术为实现特征尺寸达到百纳米级的更高工作频率SAW器件的制造提供了很好的途径。
- 赵以贵刘明牛洁斌陈宝钦
- 关键词：电子束光刻声表面波延迟线叉指换能器
- 采用电子束直写曝光制作声表面波器件的方法
- 本发明公开了一种采用电子束直写曝光制作声表面波器件的方法，该方法是利用电子束光刻在压电衬底上获得叉指换能器的电子抗蚀剂凹立图形，然后再用剥离工艺制作各种声表面波器件。具体步骤包括：在压电衬底上涂敷电子抗蚀剂；前烘；生长对...
- 赵以贵刘明牛洁斌
- 文献传递
- 基于无线传感器网络技术的水质监测系统被引量：5
- 2013年
- 随着人们对赖以生存的水环境的重视,水质实时在线监测系统需求迫切。基于对无线传感器网络技术的研究,以无线传感器网络为通讯手段,结合水质评价模型,设计了一个水质在线监测系统。实现对特定水域的实时监测,对提高水质保护和水资源合理利用具有一定的意义。
- 赵以贵
- 关键词：传感器无线网络水质评价实时监测
