刘亮亮
- 作品数：15 被引量：7H指数：2
- 供职机构：北京大学深圳研究生院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺理学一般工业技术更多>>
- 筒形高功率脉冲磁控溅射源的开发与放电特性被引量：7
- 2016年
- 高功率脉冲磁控溅射以较高的溅射材料离化率及其所带来的高致密度、高结合力和高综合性能成为物理气相沉积领域的新宠,然而其沉积速率低、放电不稳定、溅射材料离化率不一等缺点阻碍了其在工业界的推广和应用.针对高功率脉冲磁控溅射技术固有的缺陷,我们从靶源出发,设计了一种筒形溅射源,将放电限制在筒形溅射源内部,放电不稳定喷溅出的"金属液滴"和溅射出来但并未离化的溅射材料无法被负电位的引出栅引出而影响薄膜沉积,只有离化的溅射材料可以引出并沉积形成薄膜,而电子将在筒形溅射源内部反复振荡,和未离化的溅射原子剧烈碰撞,带动进一步离化.本文通过磁场和放电的模拟发现筒形溅射源内部电子、离子呈花瓣状分布,8条磁铁均匀分布的结构具有最优的靶材利用率.据此开发的筒形溅射源可在高功率脉冲磁控溅射条件下正常放电,其放电靶电流随靶电压变化呈现出高功率脉冲磁控溅射典型的伏安特性特征,复合电流施加后,有明显的预离化作用.溅射"跑道"面积占靶材表面的60%以上,筒形溅射源中心的离子电流波形与靶电流波形类似,但相对靶电流延迟约40μs,数值约为靶电流的1/10.结果证明,筒形溅射源可有效地应用到高功率脉冲磁控溅射放电中,并成为促进其推广和应用的一种新路径.
- 肖舒吴忠振崔岁寒刘亮亮郑博聪林海傅劲裕田修波潘锋朱剑豪
- 关键词：模拟仿真放电特性
- 一种超硬TiC涂层及其制备方法
- 本发明公开一种超硬TiC涂层及其制备方法。所述方法包括：步骤A、在第一偏压下对基底进行清洗；步骤B、在惰性气体气氛下对金属靶进行磁控溅射放电，采用第二偏压在所述基底表面沉积金属过渡层；步骤C、逐渐通入含C气体，对金属Ti...
- 刘亮亮吴忠振崔岁寒马正永
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- 一种超疏水材料及其制备方法和应用
- 一种超疏水材料及其制备方法和应用。所述超疏水材料，其疏水表面由正表面能材料、负表面能材料和微纳米空隙组成。所述超疏水材料，通过在疏水表面引入负表面能材料和微纳米空隙设计，在不使用低表面能的有机物质的情况下，具有超疏水性能...
- 潘锋吴忠振刘亮亮李舜宁
- 一种DLC涂层及其制备方法
- 本发明公开一种DLC涂层及其制备方法。本发明中，在高能脉冲偏压下，实现了沉积与注入结合的涂层生长方法，从而实现了涂层应力的控制。采用该方法制备DLC涂层，大幅降低了DLC涂层的应力，极大提升了DLC涂层的结合力。
- 吴忠振刘亮亮吴忠灿唐伟李晓渊
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- 一种高时间分辨的光谱检测设备及应用
- 本发明公开了一种高时间分辨的光谱检测设备及应用，其中，光谱检测设备包括光谱仪，以及与所述光谱仪电连接的单光子计数器；所述光谱仪包括：光信号采集模块、分光模块和信号增强模块；所述单光子计数器用于获得所述脉冲光源一个脉冲内的...
- 吴忠振肖舒刘亮亮马正永林海潘锋
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- 一种高时间分辨的质谱检测设备及应用
- 本发明公开了一种高时间分辨的质谱检测设备，包括依次电连接的电容模块、信号转换器以及质谱仪；所述质谱仪用于分析等离子体的粒子种类、能量；所述电容模块，用于接受待测试系统中的脉冲模拟信号，进行脉冲反相交换，并输出控制信号；所...
- 吴忠振肖舒刘亮亮马正永林海潘锋
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- 一种新型阳极层离子源
- 本发明提供一种新型阳极层离子源，包括位于轴心位置的内阴极，环绕在所述内阴极外侧的外阴极，所述内阴极和所述外阴极之间的间隙为离子束流通道；均匀排列在内阴极与外阴极之间的永磁体；位于所述内阴极和所述外阴极之间且环绕所述内阴极...
- 吴忠振余浩洋崔岁寒刘亮亮吴忠灿
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- 一种超疏水材料及其制备方法和应用
- 一种超疏水材料及其制备方法和应用。所述超疏水材料，其疏水表面由正表面能材料、负表面能材料和微纳米空隙组成。所述超疏水材料，通过在疏水表面引入负表面能材料和微纳米空隙设计，在不使用低表面能的有机物质的情况下，具有超疏水性能...
- 潘锋吴忠振刘亮亮李舜宁
- 一种硬质涂层及其制备方法与应用
- 本发明公开一种硬质涂层及其制备方法与应用。所述硬质涂层的制备技术为持续高功率磁控溅射技术；其中，平均功率密度>80W/cm<Sup>2</Sup>。本发明所述的镀膜技术为新型磁控溅射技术，具有高功率、高离化、高速沉...
- 吴忠振刘亮亮崔岁寒
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- 一种DLC涂层及其制备方法
- 本发明公开一种DLC涂层及其制备方法。本发明中，在高能脉冲偏压下，实现了沉积与注入结合的涂层生长方法，从而实现了涂层应力的控制。采用该方法制备DLC涂层，大幅降低了DLC涂层的应力，极大提升了DLC涂层的结合力。
- 吴忠振刘亮亮吴忠灿唐伟李晓渊
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