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张鹏
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
天津市农业科学院
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发文基金:
天津市自然科学基金
河北省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
杨茂峰
河北工业大学信息工程学院微电子...
叶威
河北工业大学信息工程学院微电子...
孙以材
河北工业大学信息工程学院微电子...
潘国峰
河北工业大学信息工程学院微电子...
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2008
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绘制硅单晶电阻率等值线的Mapping技术(英文)
被引量:1
2008年
用斜置式四探针测定了硅单晶片(Ф75mm)上3mm间距测试点的电阻率分布.本文从电阻率的统计分布出发,确定了电阻率的分隔数和差值,采用指数函数作为模糊集的隶属度,并且选择合适的门槛值,利用模糊数学将电阻率数据归类于不同的模糊集.同一模糊集对应相同的电阻率,这样使电阻率能以一定的间隔分布,然后结合MATLAB软件画出电阻率等值线,以构成Mapping图.在同一等电阻率线条上各点具有较小的阻值偏差,且剩余未连接点少.连接质量好,可以应用于指导实际生产.
孙以材
潘国峰
杨茂峰
叶威
张鹏
关键词:
硅单晶
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