您的位置： 专家智库 > >

杨茂峰

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：天津市自然科学基金河北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇英文
  • 1篇硅单晶

机构

  • 1篇河北工业大学
  • 1篇天津市农业科...

作者

  • 1篇潘国峰
  • 1篇孙以材
  • 1篇叶威
  • 1篇张鹏
  • 1篇杨茂峰

传媒

  • 1篇Journa...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
绘制硅单晶电阻率等值线的Mapping技术(英文)被引量：1
2008年
用斜置式四探针测定了硅单晶片(Ф75mm)上3mm间距测试点的电阻率分布.本文从电阻率的统计分布出发,确定了电阻率的分隔数和差值,采用指数函数作为模糊集的隶属度,并且选择合适的门槛值,利用模糊数学将电阻率数据归类于不同的模糊集.同一模糊集对应相同的电阻率,这样使电阻率能以一定的间隔分布,然后结合MATLAB软件画出电阻率等值线,以构成Mapping图.在同一等电阻率线条上各点具有较小的阻值偏差,且剩余未连接点少.连接质量好,可以应用于指导实际生产.
孙以材潘国峰杨茂峰叶威张鹏
关键词：硅单晶
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0