唐健 作品数:7 被引量:21 H指数:2 供职机构: 教育部 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 教育部“新世纪优秀人才支持计划” 航天科技创新基金 更多>> 相关领域: 电子电信 航空宇航科学技术 金属学及工艺 化学工程 更多>>
基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的设计与制作 被引量:2 2017年 提出了一种新型的基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的结构设计及其制作方法。该种陀螺采用MEMS工艺制作而成,基底材料为肖特BF33玻璃,电极和谐振器均由单晶硅片加工而成,肖特BF33玻璃与单晶硅片通过阳极键合工艺键合在一起。介绍了该种陀螺的基本结构、工作原理,并进行了仿真分析,得出该种陀螺具有较小的频率分裂,表现出陀螺效应。最后,通过MEMS工艺进行了实际加工,得到了该种陀螺的实验样品。 朱甲强 张卫平 唐健 邢亚亮 孙殿竣 吴校生 崔峰 刘武 成宇翔 赵万良关键词:阳极键合 MEMS工艺 压电半球谐振陀螺的数字检测方法 2016年 提出了一种压电半球谐振陀螺的数字检测方法。该检测方法基于Cyclone IV FPGA开发板,结合AD9226的A/D采样功能和Matlab的数字信号处理能力,实现了对采用压电效应、柯氏效应的压电半球谐振陀螺的输出信号进行采集及检测。介绍了该陀螺的结构和工作原理,并以其工作在89.4 k Hz的体声波二波腹模态下的仿真结果为基础设计了数字检测方法。 汪濙海 张卫平 孙殿竣 唐健 成宇翔 刘亚东 邢亚亮关键词:压电 FPGA 3D打印技术在金刚石工具制造中的应用探讨 被引量:12 2018年 3D打印技术是一种处于科技前沿的新型智能制造技术,将其应用于金刚石工具制造是一种新的尝试。3D打印技术具有传统工艺无可比拟的优势,如成品整体性强、精密度高、操作简便、可完成复杂形状的产品制造等,极大地帮助与补充了金刚石工具的制造方法。3D打印技术能够制作使用其他常规方法难以完成的超薄、微型或异型金刚石工具。但是,3D打印技术也存在一些问题,如可用的金刚石粉末种类不足,金刚石的碳化、粒度、浓度等问题,需随3D打印技术的发展而逐步解决。 张绍和 唐健 唐健 王佳亮关键词:3D打印 超薄 金刚石工具 用于各向同性湿法刻蚀中的氮化硅掩膜 被引量:1 2016年 在硅的各向同性湿法刻蚀过程中,一般选用HNA溶液(即氢氟酸、硝酸和乙酸的混合溶液)作为刻蚀液,而氮化硅以其很好的耐刻蚀性而优先被选为顶层掩膜材料。在硅片上刻蚀不同的结构,通常需要选择不同的刻蚀液配比。而不同配比对于氮化硅掩膜的刻蚀速率也不一样。分别用PECVD和LPCVD两种方法在〈111〉型硅片上沉积了厚度为560和210nm的氮化硅薄膜,研究和对比了它们在8种典型配比刻蚀液下的刻蚀速率,为合理制作所需要厚度的氮化硅掩膜提供有益参考。 刘亚东 张卫平 唐健 汪濙海 邢亚亮 孙殿竣关键词:掩膜 氮化硅 刻蚀速率 MEMS半球谐振陀螺的角速度积分及其FPGA设计 被引量:4 2017年 微电子机械系统(MEMS)半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,能工作在角速度积分模式下,具有体积小、质量轻、功耗低、成本低、对称性高、Q值高,以及精度高等优点。文章给出了一种微型半球谐振陀螺的结构,研究了其工作原理以及检测方法,设计了一种数字式MEMS半球谐振陀螺仪的角速度积分工作模式方案及其FPGA实现方法,以完成目前MEMS半球谐振陀螺的角速度积分模式的控制与检测工作。 赵万良 成宇翔 孙殿竣 唐健 刘朝阳 欧彬 张卫平关键词:微电子机械系统 FPGA 石英半球型微谐振器的仿真与加工 被引量:1 2017年 该文对石英半球型微谐振器进行了模态仿真,分析了前十阶振型及适合陀螺工作的模态,讨论了谐振器壁厚变化对四波腹模态谐振频率的影响。利用吹玻璃法和湿法腐蚀制作了石英半球型微谐振器,跟踪不同的腐蚀速率得出湿法腐蚀可精确控制壁厚的结论。测试腐蚀后的谐振器表面粗糙度仅为0.581nm,保留了原子级别的光滑度。 邢亚亮 张卫平 唐健 孙殿竣 刘朝阳 欧彬关键词:半球谐振陀螺 模态分析 湿法腐蚀 摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺 被引量:1 2014年 提出了一种新型的摇动质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺。该种陀螺,在结构上采用完全对称的圆盘式结构,在原理上,利用压电体声波的简并模态,而且摇动质量又增强体声波驱动和敏感效应,再由柯氏效应,获得输入角速度。文章介绍了结构,原理,同时又利用仿真分析,优化了参数,给出了该陀螺可有效工作在25 172.8 Hz的体声波二波腹模式下,频率分裂184.6 Hz,具有陀螺效应,仿真得到灵敏度为1.81μV/rad/s。最后,利用MEMS技术,对微陀螺进行了实际加工,并得到了样品。 张弓 张卫平 许仲兴 汪濙海 成宇翔 唐健 关冉 陈文元关键词:压电 体声波 灵敏度