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唐健

作品数:7 被引量:21H指数:2
供职机构:教育部更多>>
发文基金:国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”航天科技创新基金更多>>
相关领域:电子电信航空宇航科学技术金属学及工艺化学工程更多>>

文献类型

  • 7篇中文期刊文章

领域

  • 4篇电子电信
  • 2篇航空宇航科学...
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程

主题

  • 4篇陀螺
  • 3篇半球谐振陀螺
  • 2篇压电
  • 2篇FPGA
  • 1篇氮化
  • 1篇氮化硅
  • 1篇多环
  • 1篇掩膜
  • 1篇阳极键合
  • 1篇摇摆
  • 1篇湿法腐蚀
  • 1篇湿法刻蚀
  • 1篇石英
  • 1篇体声波
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇微陀螺
  • 1篇微谐振器
  • 1篇谐振器

机构

  • 6篇上海交通大学
  • 2篇教育部
  • 1篇湖南科技大学
  • 1篇中南大学

作者

  • 7篇唐健
  • 6篇张卫平
  • 3篇汪濙海
  • 2篇欧彬
  • 2篇刘朝阳
  • 2篇刘亚东
  • 1篇王佳亮
  • 1篇吴校生
  • 1篇关冉
  • 1篇崔峰
  • 1篇张弓
  • 1篇陈文元
  • 1篇张绍和
  • 1篇成宇翔
  • 1篇刘武
  • 1篇唐健
  • 1篇许仲兴

传媒

  • 3篇半导体光电
  • 1篇金刚石与磨料...
  • 1篇振动与冲击
  • 1篇压电与声光
  • 1篇现代电子技术

年份

  • 1篇2018
  • 3篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2014
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的设计与制作被引量:2
2017年
提出了一种新型的基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的结构设计及其制作方法。该种陀螺采用MEMS工艺制作而成,基底材料为肖特BF33玻璃,电极和谐振器均由单晶硅片加工而成,肖特BF33玻璃与单晶硅片通过阳极键合工艺键合在一起。介绍了该种陀螺的基本结构、工作原理,并进行了仿真分析,得出该种陀螺具有较小的频率分裂,表现出陀螺效应。最后,通过MEMS工艺进行了实际加工,得到了该种陀螺的实验样品。
朱甲强张卫平唐健邢亚亮孙殿竣吴校生崔峰刘武成宇翔赵万良
关键词:阳极键合MEMS工艺
压电半球谐振陀螺的数字检测方法
2016年
提出了一种压电半球谐振陀螺的数字检测方法。该检测方法基于Cyclone IV FPGA开发板,结合AD9226的A/D采样功能和Matlab的数字信号处理能力,实现了对采用压电效应、柯氏效应的压电半球谐振陀螺的输出信号进行采集及检测。介绍了该陀螺的结构和工作原理,并以其工作在89.4 k Hz的体声波二波腹模态下的仿真结果为基础设计了数字检测方法。
汪濙海张卫平孙殿竣唐健成宇翔刘亚东邢亚亮
关键词:压电FPGA
3D打印技术在金刚石工具制造中的应用探讨被引量:12
2018年
3D打印技术是一种处于科技前沿的新型智能制造技术,将其应用于金刚石工具制造是一种新的尝试。3D打印技术具有传统工艺无可比拟的优势,如成品整体性强、精密度高、操作简便、可完成复杂形状的产品制造等,极大地帮助与补充了金刚石工具的制造方法。3D打印技术能够制作使用其他常规方法难以完成的超薄、微型或异型金刚石工具。但是,3D打印技术也存在一些问题,如可用的金刚石粉末种类不足,金刚石的碳化、粒度、浓度等问题,需随3D打印技术的发展而逐步解决。
张绍和唐健唐健王佳亮
关键词:3D打印超薄金刚石工具
用于各向同性湿法刻蚀中的氮化硅掩膜被引量:1
2016年
在硅的各向同性湿法刻蚀过程中,一般选用HNA溶液(即氢氟酸、硝酸和乙酸的混合溶液)作为刻蚀液,而氮化硅以其很好的耐刻蚀性而优先被选为顶层掩膜材料。在硅片上刻蚀不同的结构,通常需要选择不同的刻蚀液配比。而不同配比对于氮化硅掩膜的刻蚀速率也不一样。分别用PECVD和LPCVD两种方法在〈111〉型硅片上沉积了厚度为560和210nm的氮化硅薄膜,研究和对比了它们在8种典型配比刻蚀液下的刻蚀速率,为合理制作所需要厚度的氮化硅掩膜提供有益参考。
刘亚东张卫平唐健汪濙海邢亚亮孙殿竣
关键词:掩膜氮化硅刻蚀速率
MEMS半球谐振陀螺的角速度积分及其FPGA设计被引量:4
2017年
微电子机械系统(MEMS)半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,能工作在角速度积分模式下,具有体积小、质量轻、功耗低、成本低、对称性高、Q值高,以及精度高等优点。文章给出了一种微型半球谐振陀螺的结构,研究了其工作原理以及检测方法,设计了一种数字式MEMS半球谐振陀螺仪的角速度积分工作模式方案及其FPGA实现方法,以完成目前MEMS半球谐振陀螺的角速度积分模式的控制与检测工作。
赵万良成宇翔孙殿竣唐健刘朝阳欧彬张卫平
关键词:微电子机械系统FPGA
石英半球型微谐振器的仿真与加工被引量:1
2017年
该文对石英半球型微谐振器进行了模态仿真,分析了前十阶振型及适合陀螺工作的模态,讨论了谐振器壁厚变化对四波腹模态谐振频率的影响。利用吹玻璃法和湿法腐蚀制作了石英半球型微谐振器,跟踪不同的腐蚀速率得出湿法腐蚀可精确控制壁厚的结论。测试腐蚀后的谐振器表面粗糙度仅为0.581nm,保留了原子级别的光滑度。
邢亚亮张卫平唐健孙殿竣刘朝阳欧彬
关键词:半球谐振陀螺模态分析湿法腐蚀
摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺被引量:1
2014年
提出了一种新型的摇动质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺。该种陀螺,在结构上采用完全对称的圆盘式结构,在原理上,利用压电体声波的简并模态,而且摇动质量又增强体声波驱动和敏感效应,再由柯氏效应,获得输入角速度。文章介绍了结构,原理,同时又利用仿真分析,优化了参数,给出了该陀螺可有效工作在25 172.8 Hz的体声波二波腹模式下,频率分裂184.6 Hz,具有陀螺效应,仿真得到灵敏度为1.81μV/rad/s。最后,利用MEMS技术,对微陀螺进行了实际加工,并得到了样品。
张弓张卫平许仲兴汪濙海成宇翔唐健关冉陈文元
关键词:压电体声波灵敏度
共1页<1>
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