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谢梦
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中国建筑材料科学研究总院
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合作作者
项晓东
中国建筑材料科学研究总院
向勇
中国建筑材料科学研究总院
汪洪
中国建筑材料科学研究总院
刘静
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第195场中...
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2014
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一种新型的离子束溅射高通量组合材料制备系统
高通量组合材料制备与表征技术是材料基因工程技术的重要组成部分,但相关仪器设备的缺乏制约了该技术的推广应用.本报告介绍一种自主开发的掩模镀膜法组合材料芯片制备技术及相应的高真空离子束溅射系统.该技术通过连续移动的掩模来精确...
刘静
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