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曾义红

作品数：5 被引量：8H指数：2
供职机构：电子科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信电气工程化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇化学工程
  • 1篇电气工程

主题

  • 2篇声表面波
  • 2篇密封
  • 2篇刻蚀
  • 2篇刻蚀工艺
  • 2篇硅基
  • 2篇硅胶
  • 2篇感器
  • 2篇高温
  • 2篇YCOB
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇电特性
  • 1篇压电特性
  • 1篇声表面波传感...
  • 1篇声表面波谐振...
  • 1篇时延
  • 1篇实验室
  • 1篇群时延
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子工艺

机构

  • 5篇电子科技大学

作者

  • 5篇曾义红
  • 4篇张万里
  • 3篇舒琳
  • 2篇李川
  • 2篇陈鹏
  • 2篇彭斌
  • 2篇王瑜
  • 2篇邓森洋
  • 2篇彭斌
  • 1篇郭珂君
  • 1篇蒋中东

传媒

  • 1篇压电与声光
  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2017
  • 3篇2015
  • 1篇2014
共 5 条 记 录，以下是 1-5
全选 清除 导出
排序方式：
一种硅基背面减薄方法
一种硅基背面减薄方法，涉及刻蚀工艺。该方法包括以下步骤：首先，配合使用生料带与硅胶，使得硅基片除背面待减薄区域之外的其它表面得到完全密封；其次，待硅胶充分固化后，采用腐蚀液对硅基片背面待减薄区域进行腐蚀，使得硅基背面待减...
张万里陈鹏彭斌李川王瑜舒琳曾义红
文献传递
基于YCOB的高温声表面波谐振器的研究被引量：3
2015年
该文研究了在新型压电材料YCa4O(BO3)3(YCOB)上设计和制备高温声表面波(SAW)谐振器。研究了2种不同切型X-90°、Z-90°YCOB为基底的SAW谐振器的高温性能。研究表明,在600℃下器件的稳定性高,其谐振频率随着温度的升高呈线性降低。Z-90°YCOB器件的谐振频率和温度灵敏度分别为278.94 MHz和21.22kHz/℃;X-90°YCOB器件的谐振频率和温度灵敏度分别为230.53MHz和13.44kHz/℃。结果表明,Z-90°切型的YCOB的温度灵敏度较高。
曾义红舒琳邓森洋张万里彭斌
关键词：声表面波
一种硅基背面减薄方法
一种硅基背面减薄方法，涉及刻蚀工艺。该方法包括以下步骤：首先，配合使用生料带与硅胶，使得硅基片除背面待减薄区域之外的其它表面得到完全密封；其次，待硅胶充分固化后，采用腐蚀液对硅基片背面待减薄区域进行腐蚀，使得硅基背面待减...
张万里陈鹏彭斌李川王瑜舒琳曾义红
时域加窗技术改进无源无线SAW传感器测试研究被引量：4
2015年
无源无线声表面波(SAW)传感器能工作在十分恶劣的环境中监控温度、应变、扭矩等因素的变化。利用无线测试传感器的群时延特性能方便地获得SAW传感器的谐振频率。但在一些复杂的环境中无线测试时会遇到环境反射的问题,此时测试的群时延曲线会产生畸变,不利于提取SAW传感器的谐振频率。利用测试群时延特性的方法搭建了测试系统,对测试结果使用了时域加窗技术。结果表明:时域加窗技术能够有效抑制环境反射对群时延的影响,这对于提高无源无线SAW传感器实际应用中的信噪比具有重要的意义。
邓森洋张万里彭斌郭珂君蒋中东曾义红
关键词：群时延
基于YCOB的高温声表面波传感器的研究
无线高温声表面波传感器不但具有一般SAW器件的体积小、品质因数高、重量轻、功耗小等优点，而且还能在高温、高压等恶劣环境实现无线无源传感测量，因而在传感器领域中有巨大的应用前景。压电基底的高温特性对高温SAW传感器的应用有...
曾义红
关键词：微电子工艺
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