舒琳
- 作品数：13 被引量：8H指数：2
- 供职机构：电子科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术化学工程更多>>
- 一种氮化铝压电薄膜及其制备方法
- 一种氮化铝压电薄膜及其制备方法，属于压电薄膜制备技术领域。该氮化铝压电薄膜，包括钛合金基片，所述钛合金基片上由下而上依次设置有氮化铝过渡层和氮化铝功能层，所述氮化铝过渡层中铝元素与氮元素的比例范围为1:1.3～1:1.5...
- 刘兴钊李川张万里彭斌舒琳
- 文献传递
- 一种双声表面波温度传感器及其设计方法
- 本发明属于声表面波传感器的设计领域，具体为一种双声表面波温度传感器及其设计方法。本发明通过将两个SAW谐振器设计集成于同一块压电基片上；两个SAW谐振器IDT的垂线互为夹角a，20°≤a≤160°，主体结构之间不相互接触...
- 彭斌张万里邓泽佳崔亦霖舒琳李光兰弓冬冬周伟
- 文献传递
- 基于YCOB的高温声表面波谐振器的研究被引量：3
- 2015年
- 该文研究了在新型压电材料YCa4O(BO3)3(YCOB)上设计和制备高温声表面波(SAW)谐振器。研究了2种不同切型X-90°、Z-90°YCOB为基底的SAW谐振器的高温性能。研究表明,在600℃下器件的稳定性高,其谐振频率随着温度的升高呈线性降低。Z-90°YCOB器件的谐振频率和温度灵敏度分别为278.94 MHz和21.22kHz/℃;X-90°YCOB器件的谐振频率和温度灵敏度分别为230.53MHz和13.44kHz/℃。结果表明,Z-90°切型的YCOB的温度灵敏度较高。
- 曾义红舒琳邓森洋张万里彭斌
- 关键词：声表面波
- 一种硅基背面减薄方法
- 一种硅基背面减薄方法，涉及刻蚀工艺。该方法包括以下步骤：首先，配合使用生料带与硅胶，使得硅基片除背面待减薄区域之外的其它表面得到完全密封；其次，待硅胶充分固化后，采用腐蚀液对硅基片背面待减薄区域进行腐蚀，使得硅基背面待减...
- 张万里陈鹏彭斌李川王瑜舒琳曾义红
- 文献传递
- 高阶兰姆波MEMS声表面波谐振器仿真研究被引量：1
- 2014年
- 以有限元法为基础,对高阶兰姆波型微机电系统(MEMS)声表面波谐振器进行了仿真。研究了压电材料及其厚度、Si基底厚度对高阶兰姆波声速的影响规律,结果表明,AlN压电薄膜器件的高阶兰姆波的声速比ZnO和LiNbO3器件更大。压电材料较薄时传播兰姆波,太厚时则传播瑞利波。高阶兰姆波的声速随着硅基底厚度增加而逐渐降低,并趋于一个稳定值。在此基础上,提出了在电极上方加载一层压电薄膜来提高兰姆波声速的器件结构,仿真结果表明,通过增加一层AlN薄膜,可提高高阶兰姆波的声速,进而提高器件的谐振频率。
- 陈鹏张万里彭斌李川舒琳王瑜
- 关键词：声速声表面波谐振器压电薄膜
- 双敏感源声表面波传感器
- 一种双敏感源的声表面波传感器，属于电子功能材料与器件技术领域。该传感器包括衬底基片，所述衬底基片为LGS衬底基片，衬底基片上设置有界面谐振器及AlN薄膜层，AlN薄膜层完全覆盖界面谐振器，AlN薄膜层上设置有表面谐振器，...
- 刘兴钊舒琳彭斌张万里王瑜李川
- 文献传递
- 声表面波谐振器的高温无线传感特性研究
- 声表面波传感器具有精度高、响应快、无源激励、无线传输等特点，在航空航天、环境监测、军事安全等领域具有良好的应用价值。本论文以高温、复杂环境下金属结构件的结构健康监测为研究背景，通过无线测试技术，研究了声表面波谐振器的温度...
- 舒琳
- 关键词：声表面波谐振器
- 一种氮化铝压电薄膜及其制备方法
- 一种氮化铝压电薄膜及其制备方法，属于压电薄膜制备技术领域。该氮化铝压电薄膜，包括钛合金基片，所述钛合金基片上由下而上依次设置有氮化铝过渡层和氮化铝功能层，所述氮化铝过渡层中铝元素与氮元素的比例范围为1:1.3～1:1.5...
- 刘兴钊李川张万里彭斌舒琳
- 一种硅基背面减薄方法
- 一种硅基背面减薄方法，涉及刻蚀工艺。该方法包括以下步骤：首先，配合使用生料带与硅胶，使得硅基片除背面待减薄区域之外的其它表面得到完全密封；其次，待硅胶充分固化后，采用腐蚀液对硅基片背面待减薄区域进行腐蚀，使得硅基背面待减...
- 张万里陈鹏彭斌李川王瑜舒琳曾义红
- 基于压电表声波谐振器的高温无线无源应变计研制
- 压电材料是实现电-声信号转换的重要功能材料，在水下目标探测、石油测井、无损探伤、医学造影、微波信号处理等方面都获得了良好应用。随着大型公共交通系统与人们日常生活联系的紧密，对高铁、飞机等运载工具状态的实时监测显得越来越重...
- 刘兴钊舒琳彭斌张万里李言荣
- 关键词：压电材料应变计结构健康监测
