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陈守良

作品数：22 被引量：1H指数：1
供职机构：沈阳新松机器人自动化股份有限公司更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 21篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 12篇机器人
  • 9篇晶圆
  • 6篇机器人控制
  • 4篇数据采样
  • 4篇数据转换
  • 4篇偏心
  • 4篇码盘
  • 4篇控制系统
  • 4篇采样
  • 3篇运动控制
  • 3篇控制器
  • 3篇机器人控制器
  • 3篇机器人运动
  • 3篇机械手
  • 2篇电机
  • 2篇运动控制系统
  • 2篇示教
  • 2篇示教盒
  • 2篇受力
  • 2篇数据处理

机构

  • 22篇沈阳新松机器...
  • 1篇东北大学

作者

  • 22篇陈守良
  • 17篇邹风山
  • 16篇刘晓帆
  • 12篇宋吉来
  • 11篇徐方
  • 7篇曲道奎
  • 7篇梁亮
  • 6篇李崇
  • 5篇李学威
  • 4篇甘戈
  • 3篇贾凯
  • 3篇韩志平
  • 3篇赵彬
  • 2篇郭海冰
  • 2篇褚明杰
  • 2篇温燕修
  • 2篇边弘晔
  • 2篇李邦宇
  • 2篇钱益舟
  • 2篇王磊

传媒

  • 1篇组合机床与自...

年份

  • 2篇2021
  • 1篇2020
  • 5篇2018
  • 3篇2016
  • 4篇2015
  • 7篇2013
共 22 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
晶圆尺寸可在线调整的预对准装置
本发明涉及自动化控制技术领域，具体公开一种晶圆尺寸可在线调整的预对准装置。本发明包括：预对准机，控制板，偏心计算模块，缺口位置计算模块，机械手晶圆补偿模块；偏心计算模块，用于计算所述预对准机上晶圆偏心角；缺口位置计算模块...
韩策邹风山徐方陈守良宋吉来刘晓帆
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机器人控制方法、机器人控制系统及控制逻辑配置方法
本发明提供一种机器人控制系统，包括示教盒、与所述示教盒连接的机器人控制单元、与所述机器人控制单元连接的外围IO模块组，所述机器人控制单元包括机器人控制器、分别与所述机器人控制器连接的多个IO板卡，所述外围IO模块组用于与...
韩志平王磊李志田包呼和陈守良刘晓帆梁亮
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晶圆缺口边缘中心预对准方法
一种晶圆缺口边缘中心预对准方法，包括以下步骤：提供一旋转台电机，用以支撑旋转一晶圆；一传感器，用以采集晶圆边缘数据和获取相对应的旋转台电机的码盘值；该方法还包括：数据采样、数据转换、数据初处理、初处理数据归一化、归一化数...
徐方曲道奎邹风山贾凯陈守良李学威宋吉来褚明杰
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晶圆预对准系统误差仿真分析被引量：1
2013年
为了系统的研究各参数对晶圆预对准精度的影响,建立了晶圆边缘数据采集模型,实现了在不同条件下包括缺口在内的晶圆边缘完整数据的采集,并在此基础上采用目前较为常见的预对准算法对晶圆的偏心及缺口位置进行计算,再将计算结果与设定的实际晶圆偏心及缺口位置进行对比,得到计算误差。通过对不同条件下仿真结果的对比,系统地研究了晶圆预对准过程中各参数对其精度的影响规律,获得了与晶圆预对准误差的控制、标定及补偿相关的重要结论。
李学威孙义田何伟全张鹏陈守良
关键词：偏心CCD
晶圆中心预对准方法
一种晶圆中心预对准方法，包括以下步骤：提供一旋转台电机，用以支撑旋转一晶圆；光学探测器，用以采集晶圆边缘数据和获取相对应的旋转台电机的码盘值；数据采样、数据转换、获取当前电机码盘值、直角坐标拟合、三点确定一个圆；通过多次...
陈守良郭海冰邹风山李崇刘晓帆董状宋吉来甘戈
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一种基于机器视觉的机器人防撞保护装置及方法
一种基于机器视觉的机器人防撞保护装置，包括机器人、用于拍摄照片的拍摄装置、及报警装置，报警装置包括警告灯与蜂鸣器，机器人包括：参数设置模组，用于设置参数，该参数包括有预设照片，处理模组，用于处理所述拍摄装置拍摄的照片；判...
李邦宇曲道奎徐方邹风山李崇刘晓帆宋吉来陈守良
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一种基于机器视觉的机器人防撞保护装置及方法
一种基于机器视觉的机器人防撞保护装置，包括机器人、用于拍摄照片的拍摄装置、及报警装置，报警装置包括警告灯与蜂鸣器，机器人包括：参数设置模组，用于设置参数，该参数包括有预设照片，处理模组，用于处理所述拍摄装置拍摄的照片；判...
李邦宇曲道奎徐方邹风山李崇刘晓帆宋吉来陈守良
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一种基于DSP的晶圆偏心在线检测装置及方法
本发明涉及晶圆检测技术领域，具体公开一种基于DSP的晶圆偏心在线检测装置。本发明的在线检测装置，用于检测晶圆偏心，包括：机器人控制器、真空机械手、第一传感器、第二传感器和工位；所述机器人控制器与所述真空机械手相连；所述第...
邹风山李崇张峰宋吉来陈守良韩志平
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晶圆预对准装置
一种晶圆预对准装置，包括基板、设置于基板上的第一支撑装置、用于驱动第一支撑装置相对基板旋转的第一驱动装置、部分设置于基板下方的第二支撑装置、用于驱动第二支撑装置相对基板上下移动的第二驱动装置。第一支撑装置包括多个用于支撑...
边弘晔张鹏陈守良曲道奎徐方李学威温燕修邹风山
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伺服直流电机驱动控制装置及方法
本发明公开了一种伺服直流电机驱动控制装置，其包括：DSP模块、全桥驱动模块、电流传感器模块、电源模块、通讯模块及光编信号处理电路，所述的电源模块为所述的DSP模块、电流传感器模块、全桥驱动模块提供电能；DSP模块，通过脉...
宋吉来徐方邹风山李崇刘晓帆董状陈守良甘戈
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