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王元
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
蒋书文
电子科技大学光电信息学院电子薄...
陈湘亮
电子科技大学光电信息学院电子薄...
姜斌
电子科技大学光电信息学院电子薄...
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基片
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变容管
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AL2O3
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BA
机构
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电子科技大学
作者
2篇
陈湘亮
2篇
蒋书文
2篇
王元
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姜斌
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电子元件与材...
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1篇
2011
1篇
2010
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Al_2O_3陶瓷基片上Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3薄膜可调介电性能的研究
2011年
采用磁控溅射方法在Al2O3陶瓷基片上溅射生长Ba0.7Sr0.3TiO3(BST)薄膜,使用光刻工艺制作平板结构的BST薄膜可变电容。研究了溅射条件对BST薄膜可调介电性能和介电损耗的影响。结果表明,在溅射气压为4Pa、O2:Ar比为30:70、基片温度800℃下制备的BST薄膜具有较高的介电调谐率(约52%)和较低的损耗(约0.8%),BST薄膜可变电容的品质因素随频率升高而降低,在1~100MHZ频率范围内品质因素从125下降为42。
王元
蒋书文
陈湘亮
关键词:
BST薄膜
AL2O3
陶瓷基片
可变电容
基于钛酸锶钡变容管的可调匹配网络
被引量:2
2010年
采用钛酸锶钡(BST)薄膜变容管作为可调电容元件,在LaAlO3基片上采用微细加工技术制备了共面波导结构的C-L-Cπ型可调匹配网络。仿真及测试结果表明,通过在BST薄膜变容管上施加直流偏置电压对BST变容管的电容进行调节,可以在740~770 MHz频率范围内,实现该匹配网络与终端负载之间良好的阻抗匹配。其中,在760 MHz时测得的匹配网络的反射系数S11达到–45.8 dB。
陈湘亮
蒋书文
姜斌
王元
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