戴邵康
- 作品数:2 被引量:1H指数:1
- 供职机构:电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
- 相关领域:理学一般工业技术电气工程更多>>
- 液相源金属有机物化学气相法制备YBCO高温超导薄膜
- YBa2Cu3O7-δ高温超导材料在超导发电机、电动机、强场磁体、限流器、储能系统等方面有着广泛的应用前景。但是直接在柔性的金属Ni基带上制备YBCO涂层导体难度很大,主要是薄膜的快速制备、晶格失配以及离子扩散等问题都有...
- 戴邵康
- 关键词:YBCO薄膜金属有机物化学气相沉积涂层导体
- 文献传递
- 金属有机物化学气相法制备YBCO超导薄膜研究被引量:1
- 2010年
- 运用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD),在LaAlO3(LAO)单晶上沉积YBa2Cu3O7-x(YBCO)超导薄膜。通过使用优化的进液装置,使金属有机源连续、稳定地输送至蒸发皿进行闪蒸。通过优化总气压、氧分压等生长条件,获得高质量的YBCO薄膜。在固定的温度条件下,调节反应总气压和氧分压,在总压为380Pa,氧分压为180Pa获得YBCO薄膜临界电流密度Jc=0.6MA/cm2。随着氧分压增大,YBCO薄膜产生a轴取向,(005)峰向左偏移,且薄膜中的Cu/Ba由1.0变化至1.63。在Cu/Ba=1.48时,YBCO薄膜结构与性能较优。
- 戴邵康于淼陶伯万高磊
- 关键词:氧分压金属有机物化学气相沉积