唐海林
- 作品数：20 被引量：47H指数：4
- 供职机构：中国工程物理研究院更多>>
- 发文基金：国防科技技术预先研究基金总装备部科研项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信航空宇航科学技术机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 一种高动态使用微惯性测量单元的实现被引量：4
- 2012年
- 针对在振动和高速自旋条件下使用MIMU的问题,提出了一种具备高动态环境适应能力的MIMU设计。采用国产微加速度计和微陀螺作为微惯性传感器,由Honeywell HMC2003完成地磁场测量。采用力学仿真方法分析了随机振动对MIMU本体结构的影响,优化设计后,加速度功率谱密度抑制比达到98.9%;在高速自旋状态下,采用地磁场组合解算方法弥补轴向微陀螺量程饱和所产生的失效数据,300(°)/s以上角速率误差小于1(°)/s。经飞行试验验证,该设计保证了微惯性传感器在高动态环境下的正常工作。
- 李枚代刚唐海林何晓平彭勃
- 关键词：高动态抗振
- 太赫兹肖特基二极管技术研究进展被引量：5
- 2013年
- 太赫兹肖特基二极管是太赫兹应用领域中非常重要的一种器件,它可以实现高频信号的混频和倍频,研制发展太赫兹肖特基二极管对于太赫兹技术有重要意义。本文首先介绍了太赫兹肖特基二极管的种类及性能表征,接着介绍国内外主要研究机构在太赫兹肖特基二极管方面的研制成果和进展,最后总结出研制太赫兹肖特基二极管的关键技术和发展方向。
- 唐海林
- 关键词：太赫兹肖特基二极管截止频率空气桥
- 高浓度硼深扩散自停止腐蚀层硅片工艺研究被引量：3
- 2007年
- 为制备用于硅溶片工艺的高浓度硼深扩散自停止腐蚀层硅片,对扩散掺杂工艺进行了研究。结合预淀积和再分布两种条件下扩散的特点,采用两步法工艺制备了高浓度硼深扩散硅片,研究了影响杂质浓度和扩散深度的再分布与预淀积时间比。扩散所得硅片的测试结果与理论计算相当吻合,当再分布与预淀积时间比为1.5倍时,扩散结深为21.7μm,自停止腐蚀层为14μm。
- 唐海林凌宏芝
- 关键词：电子技术MEMS
- 解耦z轴微机械陀螺的研制被引量：4
- 2011年
- 提出了一种检测模态解耦的z轴微机械陀螺,其检测模态被约束为1自由度振动,可抑制驱动模态的影响,降低不期望的检测模态偏置,并使用双质量结构在降低模态耦合的同时获得了较好的模态频率匹配。为满足驱动和检测模态自由度约束要求,使用了U形支撑梁。采用反应离子深刻蚀工艺制作了高深宽比结构层,获得了较大的验证质量,抑制了器件的机械热噪声,提高了陀螺分辨率。加工的陀螺面积为2 100μm×2 100μm,厚度为60μm。采用真空封装,获得了较高的机械品质因子。测试结果表明,驱动和检测模态的品质因子分别为2 000和1 800,机械热噪声为3.76(°)/h.Hz21。在±200(°)/s的量程内,刻度因子为21mV/(°).s-1,非线性度为1.426%FS,1h内测得零偏稳定性为0.057 9(°)/s。
- 周浩苏伟刘显学唐海林
- 关键词：微机械陀螺反应离子深刻蚀
- 高浓度硼扩散硅片CMP工艺研究
- 2009年
- "叉指式微加速度计"的研制,需要使用高浓度硼扩散硅片,而硅片经过高浓度硼扩散后,硅片双面生长了一层硼硅玻璃,很难将其去除,不能在高浓度硼扩散层上制作更好的"叉指式微加速度计"结构。针对上述问题,在CMP研磨抛光工艺中,针对上述问题,在CMP研磨抛光工艺中,选择合适的研磨料和抛光料以及研磨盘和抛光盘,通过对浆料浓度、流量大小、抛光温度进行改进,优化研磨抛光工艺流程及工艺参数,以完成高浓度硼扩散硅片的表面平坦化。
- 谭刚吴嘉丽唐海林
- 关键词：化学机械抛光平坦化
- 微陀螺仪特征频率分析及结构参数优化被引量：6
- 2003年
- 应用Coventorware软件系统模型的方法对一种振动板式微陀螺仪进行了特征频率分析和结构参数优化,研究了静电压对特征频率的影响。并用有限元分析方法进行了验证,比较了两种方法的差别。
- 唐海林程永生苏伟
- 关键词：固有频率系统模型有限元法结构原理
- 无掩膜腐蚀与伺服型电容式微加速度计被引量：3
- 2009年
- 为了解决"三明治"这类微器件制作的深窄槽结构成型问题,运用无掩膜湿法腐蚀技术,成型悬臂梁雏形后再成型质量块,较好地实现了悬臂梁与质量块同时准确成型,研制出±70 g和±5 g两种不同量程的微加速度计。样品测试表明,利用这项技术所制作的微加速度计相对精度皆优于1×10–4。其中,±70 g量程的残差可控制在7 mg以内,非线性可达0.02%;±5 g量程的残差在0.4 mg左右。
- 袁明权彭勃赵龙武蕊唐海林席仕伟谭刚
- 关键词：微电子机械系统微加速度计微机械加工残差
- 微机械梳状陀螺仪的瞬态分析被引量：11
- 2004年
- 为了研究微陀螺敏感模态和驱动模态的固有频率与机械灵敏度以及相位漂移、稳定性的关系,利用敏感电压的负刚度效应调节两模态间的固有频率差,通过CoventorWare软件进行瞬态分析,经优化仿真后得到了在一定的频率差下微陀螺的最佳性能。
- 唐海林程永生苏伟
- 关键词：仪器仪表技术瞬态分析微陀螺固有频率
- AlGaN/GaN横向肖特基势垒二极管的仿真与制作
- 2018年
- 基于GaN横向肖特基势垒二极管（SBD）的频率特性和应用的需要,设计了一种基于AlGaN/GaN异质结的横向SBD。利用Silvaco Atlas软件研究了AlGaN势垒层的厚度和Al摩尔组分对异质结Al_xGaN_（1-x）/GaN SBD电学性能的影响。仿真结果表明,SBD器件截止频率随Al摩尔组分的增加先增大再减小,当Al_xGaN_（1-x）层中Al摩尔组分为0.2~0.25,其厚度为20~30 nm时,AlGaN/GaN SBD器件的频率特性最好。在仿真的基础上,设计制作出了肖特基接触直径为2μm的非凹槽和凹槽型AlGaN/GaN横向空气桥SBD。通过直流I-V测试和射频S参数测试,提取了两种SBD器件的理想因子、串联电阻、结电容、截止频率和品质因子等关键参数,该平面SBD可应用于片上集成和混合集成的太赫兹电路的设计与制造。
- 李倩李倩安宁曾建平唐海林唐海林李志强
- 关键词：ALGAN/GAN空气桥太赫兹
- 基于灵敏度分析的微机械陀螺稳健优化设计
- 2011年
- 提出了基于灵敏度分析的微机械陀螺稳健优化模型,开发了相应的稳健设计流程。以往的研究是将设计变量中的不确定量考虑为统计容差,与之不同的是,该设计采用最坏情况容差分析,优化算法使用遗传算法,采用键合-离子反应深刻蚀加工器件。灵敏度分析结果表明稳健设计结果对误差是不敏感的。同时进行了蒙特卡洛分析,结果表明有88.35%的样本是可接受的。
- 周浩苏伟刘显学唐海林
- 关键词：微机械陀螺稳健设计
