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罗嘉辉

作品数：1 被引量：9H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇多线切割机

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇种宝春
  • 1篇靳永吉
  • 1篇罗嘉辉

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
多线切割机的切割运动分析被引量：9
2010年
半导体晶圆不断向大直径方向发展,内圆刀具的单片切割方式已经不能满足大直径晶圆的切片要求,随着多线锯切割技术的完善,多线切割机已经是半导体材料切片的主流设备。对砂粒在切割过程中的运动进行了分析,同时对钢线张力、切削进给运动进行了理论分析。
种宝春靳永吉罗嘉辉
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