靳永吉
- 作品数：22 被引量：53H指数：5
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程建筑科学自动化与计算机技术更多>>
- 主轴旋转精度对晶体切割精度影响的研究被引量：1
- 2006年
- 通过对半导体材料内圆切割机主轴旋转精度和刚度的分析,提出了提高主轴旋转精度的措施,使主轴具有极高的动静态刚性和优良的热平衡结构,减小主轴轴向跳动和径向跳动,减小刀片工作面与晶体加工面之间的相对振动,从而将切割材料表面的冲击力降到最小,避免晶体材料切割中的飞片、碎片和刀纹。
- 张改丽靳永吉
- 关键词：刚度径向跳动
- CMP抛光运动机理研究被引量：10
- 2005年
- 通过对硅晶片化学机械抛光过程中抛光运动机理的理论分析,研究了硅晶片的抛光运动特性,探讨了主要工艺参数对硅晶片化学机械抛光后晶片表面粗糙度和表面平整度、抛光均匀性的影响规律。
- 靳永吉
- 关键词：化学机械抛光粗糙度平整度
- 切割线张力自适应系统
- 本实用新型涉及一种切割线张力自适应系统，属于线切割设备辅助装置技术领域，本实用新型包括第一滚轮、第二滚轮、左挡块、右挡块、原点开关、感应片、扭矩电机、减速器、张力摆杆、张力传感器和张力放大杆，所说张力摆杆和感应片分别固定...
- 王广峰靳永吉
- 文献传递
- 线锯切割失效机理的研究被引量：13
- 2006年
- 通过对多线切割机切割工艺过程中失效机理的分析研究,提出了影响线锯切割失效的因素且分析了锯丝断线的主要原因和砂浆磨粒丧失切削力的过程,并提出了相应的预防改进措施。
- 靳永吉
- 关键词：多线切割机磨粒
- 300mm硅片多线切割机的开发
- 靳永吉吴旭王广峰种宝春李燕玲张为强罗嘉晖姜家宏赵雷付纯鹤
- 所属科学技术领域：“300mm硅片多线切割机的开发”项目来源于国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”(02专项)，项目合同号2009ZX02011-002A，属于电子通信科学技术领域。立项背景：多线切割机...
- 关键词：
- 关键词：硅片多线切割机
- CMP中铜的碟形缺陷的研究被引量：1
- 2008年
- 具体分析了铜的碟形缺陷并非由于抛光垫的弯曲造成,但是与抛光垫的表面形态有关,在此基础上,分析了铜CMP的作用机制,初步定性指出造成铜的碟形缺陷的原因,并对缺陷进行建模。比较了铜的碟形缺陷的电阻实际测量值和理论计算值,发现带碟形缺陷的电阻均大于理论值,并且随着铜的线宽增大,碟形缺陷也呈增大趋势。详细比较了选择性抛光液和非选择性抛光液对碟形缺陷的作用,从理论和测绘图形上证明选择性抛光液是造成碟形缺陷重要因素之一。采用了综合的工艺实验,最后得出抛光垫的种类及选择性抛光液在过抛光的情况下,是造成铜碟形缺陷的主要因素。
- 周国安靳永吉张志军詹阳
- 关键词：CMP铜抛光垫
- 多线切割机砂浆混合搅拌理论研究被引量：1
- 2010年
- 在针对目前太阳能行业和半导体行业普遍使用多线切割机切割单晶硅和多晶硅所使用的砂浆即SiC微粉与工作介质—轻质油混合搅拌而成的悬浮液,定量和定性剖析了混合搅拌的概念、分类、微观机理,并指出混合搅拌达到均匀混合的检验条件和方法。
- 赵雷靳永吉吴旭
- 关键词：多线切割机砂浆搅拌
- 拔轴器
- 本实用新型涉及一种应用于多线切割机上的拔轴器，主要作用是作为拆卸主辊时的辅助工具。本实用新型包括支座、螺杆和牵引盘，所说螺杆与支座的连接部位为转轴，转轴与支座轴孔间设有轴承，转轴探出支座轴孔的端部设有防窜动压盖，牵引盘与...
- 徐旭光靳永吉柳滨
- 文献传递
- 断线检测系统
- 本发明涉及一种断线检测系统，特别是应用在半导体专用设备制造行业的多线切割机设备中的断线检测系统，本发明包括设置在旋转轴上的电刷、与电刷固定连接的压簧、与电刷套装连接的电刷架垂直于电刷架中心轴的与电刷架套装连接的支撑轴、插...
- 靳永吉田惠兰
- DXQ-601型多线切割机关键技术研究被引量：17
- 2008年
- 从SiC颗粒受力情况入手,建立理论模型,根据多线切割机锯切机理,分析了切削变形分力和摩擦力引起的锯切力以及锯切力与工件的厚度、工件进给速度、锯丝的锯切速度、工件材料的性质等的关系,为多线切割机研制提供理论依据。
- 靳永吉
- 关键词：多线切割机锯切力摩擦力
