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刘宸
作品数:
4
被引量:13
H指数:2
供职机构:
北京化工大学
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
冶金工程
一般工业技术
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合作作者
刘家祥
北京化工大学材料科学与工程学院
王玥
北京化工大学材料科学与工程学院
王玥
北京化工大学
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单相结构-高密度铟锡氧化物靶材的制备方法
本发明是一种单相结构、高密度铟锡氧化物靶材的制备方法,是一种以常压烧结法制备ITO靶材的方法。本发明是利用化学共沉淀法制备ITO复合粉体,在ITO粉体中加入粘结剂进行造粒并干燥,对造粒过后的ITO粉体模压成型得到初坯,再...
刘家祥
刘宸
王玥
单相结构-高密度铟锡氧化物靶材的制备方法
本发明是一种单相结构、高密度铟锡氧化物靶材的制备方法,是一种以常压烧结法制备ITO靶材的方法。本发明是利用化学共沉淀法制备ITO复合粉体,在ITO粉体中加入粘结剂进行造粒并干燥,对造粒过后的ITO粉体模压成型得到初坯,再...
刘家祥
刘宸
王玥
文献传递
纳米级ITO粉体对烧结法制备靶材的影响
被引量:3
2011年
采用化学共沉淀法制备ITO前驱物,分别于600及1000℃下热处理前驱物,得到两种ITO粉体。粉体模压成型得到素坯,在400~1550℃内采用烧结法、氧气氛下烧结素坯制备出ITO靶材。对粉体及靶材进行表征和分析,研究了烧结过程中晶粒生长情况、靶材微结构与温度之间关系及靶材的失氧现象。得出600℃粉体为单相ITO固溶体、粒径为15nm,1000℃粉体有少量SnO2析出、粒径为28nm且其分散性和晶化程度优于600℃的粉体。两种粉体烧结制备靶材过程符合Coble固相烧结理论,1550℃时晶体出现类似二维成核生长方式的生长台阶。靶材密度随温度升高而增加,1550℃时随保温时间延长而增加。靶材致密化过程由团聚程度及团聚体大小决定,1000℃粉体制备的靶材密度高于600℃粉体所制靶材。两类靶材含氧量均低于理论值,1000℃粉体所制靶材含氧量高于600℃的含氧量。
王玥
刘家祥
刘宸
关键词:
ITO靶材
成形工艺对烧结法制备ITO靶材的影响
被引量:10
2010年
以平均粒径为30nm的ITO粉体为原料,添加少量聚乙烯醇(PVA)造粒,模压成形获得素坯,在氧气氛、1550℃烧结素坯制备IT0靶材。采用100~600MPa的成形压力,添加0.5%,1.0%,2.5%的PVA制备靶材,研究压力和PVA添加量对靶材制备的影响。结果表明,成形压力在100~500MPa内,素坯及靶材密度随压力升高而增大,500MPa时达到最大值,分别为47.5%和99.16%。600MPa时素坯和靶材密度略微降低。成形压力越高,摩擦导致的压力损失越大,素坯脱模越困难。增大PVA添加量,素坯更易脱模,且坯体内密度分布更均一。添加1.0%的PVA时获得的素坯及靶材密度最高,分别为45,21%和98,45%。得出素坯的较佳制备条件为成型压力400MPa,PVA添加1.0%。
王玥
刘家祥
刘宸
关键词:
粉末冶金
ITO靶材
素坯
PVA
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