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陈哲

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>
发文基金：北京市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇应力
  • 1篇退火
  • 1篇离子注入
  • 1篇控制技术
  • 1篇SIC
  • 1篇W

机构

  • 1篇北京大学

作者

  • 1篇田大宇
  • 1篇张国炳
  • 1篇张海霞
  • 1篇王玮
  • 1篇陈哲
  • 1篇纪明

传媒

  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
金属和SiC复合薄膜的应力及应力梯度控制技术
2008年
等离子增强化学气相沉积(PECVD)SiC谐振器的制作面临导电和应力及应力梯度控制问题.为了解决导电问题,采用金属W作为导电材料,它耐HF腐蚀,可简化工艺.使W薄膜应力最小的溅射条件为:Ar压力2.0 Pa,功率300 W,反溅射工艺;为了解决应力梯度问题,采用双层金属结构、退火和离子注入3种手段.在离子注入电压120 keV、剂量1.6×1016cm-2、不退火的条件下,可以得到应力梯度最小、结构完好的PECVD SiC谐振器.
纪明陈哲田大宇王玮张国炳张海霞
关键词：SICW退火离子注入应力
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