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张建心
作品数:
25
被引量:11
H指数:3
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
郑婉华
中国科学院半导体研究所
渠红伟
中国科学院半导体研究所
刘磊
中国科学院半导体研究所
王海玲
中国科学院半导体研究所
张冶金
中国科学院半导体研究所
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一种实现高亮度水平远场单瓣分布的光子晶体激光器阵列
本发明涉及半导体光电子器件技术领域,公开了一种实现高亮度水平远场单瓣分布的光子晶体激光器阵列。该阵列利用光子晶体对激光器阵列输出的模式进行相位调制,产生高亮度且水平远场单瓣分布的激光输出。该阵列包含三个部分:模式耦合区、...
郑婉华
刘磊
张建心
渠红伟
文献传递
基于正交微纳周期结构选模的可调谐半导体激光器
一种基于正交微纳周期结构选模的可调谐半导体激光器,包括:一衬底;在该衬底上制作有N型纵向微纳周期结构、N型下波导层、有源区、P型上波导层和P型上限制层,该P型上限制层纵向剖面为一脊型结构,脊形结构上部的两侧为整体结构,一...
渠红伟
郑婉华
张冶金
张建心
刘磊
齐爱谊
王海玲
马绍栋
石岩
文献传递
圆斑输出低发散角边发射光子晶体激光器及复合波导装置
本发明公开了一种用于改善边发射激光器二维远场形貌的光子晶体复合波导装置,该结构由平行于异质节方向的脊波导结构和垂直于异质节方向非对称的光子晶体结构组合构成,两者结合来实现激光器的低发散角和圆斑输出。垂直方向结构从下至上依...
郑婉华
张建心
刘磊
渠红伟
张斯日古楞
王海玲
文献传递
实现大功率横向低发散角的半导体激光器结构
一种实现大功率横向低发散角的半导体激光器结构,包括:一砷化镓衬底;一光子晶体区域,该光子晶体区域制作在砷化镓衬底上,用来实现基模的大面积振荡;一过渡层,该过渡层制作在光子晶体区域上;一上限制层,该上限制层制作在过渡层上,...
郑婉华
陈微
张建心
渠红伟
付非亚
文献传递
用于改善条形激光器侧向远场的光子晶体波导的制作方法
一种用于改善条形激光器侧向远场的光子晶体波导的制作方法,包括如下步骤:步骤1:取一衬底;步骤2:在衬底上依次生长下限制层、有源区和上限制层,形成横向波导结构;步骤3:采用感应耦合等离子体刻蚀的方法对上限制层进行刻蚀,在上...
郑婉华
陈微
周文君
刘安金
付非亚
张建心
渠红伟
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超低阈值横向腔光子晶体面发射激光器
被引量:4
2012年
首次在无DBR结构的商业外延波导晶片上实现了电泵横向腔光子晶体面发射激光器(LC-PCSEL)。深孔刻蚀技术使光子晶体深达2.6μm,穿透有源区,对有源区的模式直接调制。通过较小区域的光子晶体与FP腔的融合集成,利用带边模式Γ2-1的横向振荡垂直输出特性,室温下获得了1553.8 nm的面发射激光,线宽0.4 nm。超低阈值电流密度为667 A/cm2,纵向和横向的远场发散角分别为7.5°和5.5°。LC-PCSEL的设计为电注入面发射激光器的研制提供了新的思路,为该类激光器的批量生产提供了可能。
郑婉华
王宇飞
周文君
渠红伟
张建心
齐爱谊
刘磊
关键词:
光子晶体
激光器
面发射
阈值电流密度
基于正交微纳周期结构选模的可调谐半导体激光器
一种基于正交微纳周期结构选模的可调谐半导体激光器,包括:一衬底;在该衬底上制作有N型纵向微纳周期结构、N型下波导层、有源区、P型上波导层和P型上限制层,该P型上限制层纵向剖面为一脊型结构,脊形结构上部的两侧为整体结构,一...
渠红伟
郑婉华
张冶金
张建心
刘磊
齐爱谊
王海玲
马绍栋
石岩
文献传递
一种实现高亮度水平远场单瓣分布的光子晶体激光器阵列
本发明涉及半导体光电子器件技术领域,公开了一种实现高亮度水平远场单瓣分布的光子晶体激光器阵列。该阵列利用光子晶体对激光器阵列输出的模式进行相位调制,产生高亮度且水平远场单瓣分布的激光输出。该阵列包含三个部分:模式耦合区、...
郑婉华
刘磊
张建心
渠红伟
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低发散角单纵模边发射光子晶体激光器
一种低发散角单纵模光子晶体边发射激光器,包括:在衬底上依次生长的N型光子晶体波导、N型下波导层、有源区、P型上波导层、P型上限制层,该P型上限制层的纵向剖面为一脊型结构,其上部的一侧为整体结构,另一侧为人工微结构,该人工...
渠红伟
张冶金
张建心
刘磊
马绍栋
石岩
郑婉华
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低发散角单纵模边发射光子晶体激光器
一种低发散角单纵模光子晶体边发射激光器,包括:在衬底上依次生长的N型光子晶体波导、N型下波导层、有源区、P型上波导层、P型上限制层,该P型上限制层的纵向剖面为一脊型结构,其上部的一侧为整体结构,另一侧为人工微结构,该人工...
渠红伟
张冶金
张建心
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